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141.
机床误差的正交光栅检测及分离 总被引:2,自引:1,他引:2
提出一种提出了利用平面正交光栅进行几何误差检测的方法。以CINCINNATI750三坐标立式加工中心为对象,建立了包含21项几何误差的数控机床误差分离模型以分离出机床的单向误差。所提出的误差参数分离模型可以推广到多轴数控机床的误差分析上。测量实验表明该误差分离模型是可行的。该方法具有测量精度高,误差参数分离准确的特点。 相似文献
142.
分析了一般莫尔测焦术的特点,研究了透镜调制后的光栅像形成的同向莫尔条纹,探讨了一种新的测量焦距的数学模型,提出了瞄准式莫尔测焦方法,并进行了实验和精度计算。此法只面瞄准条纹,操作十分方便。 相似文献
143.
运动偏心对圆光栅副测量的影响及误差补偿 总被引:7,自引:0,他引:7
研究了一种由长光栅演变而来的新型圆光栅副存在运动偏心时的正常工作条件和由运动偏心所造成测量误差的补偿方法.阐述了该圆光栅的组成结构和工作原理; 推导了其莫尔条纹曲线的表达式; 着重研究了运动偏心对圆光栅测量影响的分析方法,即莫尔条纹随运动偏心变化的定量分析方法; 推导了由于偏心引起的测量误差的补偿公式; 通过实例分析证明,对精密测量圆光栅进行偏心误差补偿是十分必要的.研究结果表明,偏心较小时,由于不影响系统正常工作,因此会掩盖这种误差的存在,通过理论分析及补偿可确保这种新型圆光栅的测量精度. 相似文献
144.
计算全息半色调编码技术的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
论述了计算全息的基本原理及常用的编码方法,在罗曼型和博奇型编码的基础上,运用空间脉冲调制技术,提出了新型的编码技术--半色调位相型和标准型编码,半色调型编码用圆形通光孔代替矩形孔,以圆孔面积及位置来记录全息信息,改变了输出模式,减少了编码参数,为全息图的后期作提供了一种新的方法,同时通过理论计算和结果分析分析证明了半色调位相型编码具有和罗曼型同样好的衍射效率,半色调标准型编码具有和博奇型一样大的带宽,但综们的图形数据减少一倍。 相似文献
145.
多层冷压印光刻中超高精度对正的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
为满足多层冷压印光刻中套刻的超高精度要求,提出了基于斜纹结构光栅的对正技术.利用光电接收器件阵列组合接收光栅产生莫尔条纹的零级光,得到条纹平面内X、Y方向的对正误差信号.通过调整光栅副的间隙来提高误差信号的对比度.利用高对比度和灵敏度的误差信号作为控制系统的驱动信号,对承片台进行宏微两级驱动控制,并由激光干涉仪作为控制系统的反馈环节在驱动过程中进行全程监测,实现自动对正.最终使在X、Y方向上的重复对正精度达到了±20nm,满足了100nm特征尺寸压印光刻的对正精度要求. 相似文献
146.
提出一种用单根光纤直接传输二维图像(幻灯片)的新方法,这种方法是借助特殊制作的全息透镜来实现单纤传像的。描述了单纤传输平面图像系统的实验装置和制作全息透镜的方法。 相似文献
147.
应用实时全息和差分干涉及图像处理研究强迫对流换热 总被引:1,自引:1,他引:1
本文以具有未加热初始段空气外掠平壁的强迫对流为课题,用光测实时全息和差分干涉方法对同一模型进行了研究.实验证明,近代光测技术用于研究强迫对流是可行的,其中实时全息可测出层流边界层温度场,而差分干涉可直接测出温度梯度分布.文中并应用图像处理技术,对提高光测精度起了较大作用.实验结果表明,空气外掠平壁层流边界层温度分布不同于通常三次方分布假定,对于初始段热边界层厚度和局部换热系数同现在通用经验公式也有较大的差异. 相似文献
148.
以建设少数民族聚落与民居研究的基础平台——少数民族聚落与民居形态学空间数据库为目标。通过前期工作积累与总结,提出了全息数据信息采集的方法和采集信息内容的构成、信息采集作业的基本程序与技术手段;探讨数据信息采集标准的构建,以期为中国少数民族聚落及民居大数据库的建设提供科学有效的工作依据。 相似文献
149.
本文用付里叶光学的方法分析双柱面透射光栅的衍射特性,用计算机模拟出其衍射光强的分布.计算机摸拟结果与光学实验结果吻合. 相似文献
150.