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71.
用PECVD制备的薄膜H2敏元件研究 总被引:2,自引:0,他引:2
用PECVD法制备了具有较高灵敏度与选择性的H2薄膜元件。 相似文献
72.
用Sol-Gel法制备气敏传感器SnO2薄膜的研究 总被引:3,自引:0,他引:3
采用无机试剂(SnCl4.5H2O)为原料,用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备研制气敏传感的SnO2薄膜,研究了SnO2薄膜的电阻随掺杂和温度的变化关系,并且用XRD对SnO2薄膜进行分析,结果表明,掺杂和热处理温度对薄膜晶粒尺寸的大小、薄膜的结构形态均有较大的影响,进而影响薄膜的电导及传感器的灵敏度。 相似文献
73.
以无机盐SnCl4·5H2O,SbCl5,NiCl2· 相似文献
74.
近年来,气体传感器广泛应用于环境监测、防灾报警、化学化工等各个行业,是国家重点支持的发展领域之一。传统的烧结型气体传感器结构简单,成本低,应用广泛,可用于酒精、瓦斯、沼气等可燃易爆气体的监测和报警,但该类传感器存在着选择性、灵敏度和稳定性难以同时满足实际需求的问题。采用纳米材料研制气体传感器是改善传感器性能最为有效的途径之一,本项目的目的就是利用纳米技术制备敏感材料,以此来提高传感器的灵敏度,通过对纳米材料的掺杂或复合, 相似文献
75.
用四氯化锡和钼酸铵为原料,经水解、分离、焙烧等工序制备出Mo掺杂SnO2纳米晶的光电材料。通过X射线粉末衍射、透射电镜表征,结果显示:尺寸为2.5 nm左右的SnO2纳米粒子形成。荧光测试结果表明,以220 nm波长进行激发,其发射波长为463、490和537 nm,均在可见光范围内。 相似文献
76.
基于溶胶凝胶法制备了掺铟二氧化锡(ITO)薄膜,探讨聚乙二醇(PEG)、退火温度、退火过程氧气浓度等因素对ITO薄膜性能的影响。实验结果表明:在相同实验条件下,添加PEG能够降低ITO薄膜表面粗糙度,退火温度会改变ITO薄膜的结晶度,提高含锡量和氧浓度会增加ITO薄膜的电阻率。本研究为ITO埋栅结构气敏传感器制备提供了实验基础。 相似文献
77.
曹春岳 《华东师范大学学报(自然科学版)》2012,2012(5):16-23,36
通过介电泳技术将敏感元件SnO2球形纳米颗粒定位到间距为20μm的Au叉指电极之间, 制备了一种相对湿度传感器. 从获得的I-V曲线可以看出, Au/SnO2/SnO2/Au组合结构具有良好的电导率. 通过自己设计的相对湿度测试系统 测试了其传感特性, 结果显示该湿度传感器具有高的敏感性及可重复性. 证明了运用介电泳方法所制备的湿度传感器在各种不同的湿度条件下, 都具有很好的稳定性, 即使是在非常高的湿度条件下. 并且这种方法可以广泛用于其它种类的纳米球和各种不同器件结构中. 相似文献
78.
二氧化锡薄膜的PECVD制备和特性 总被引:1,自引:0,他引:1
用PECVD方法制备出二氧化锡薄膜,利用双探针技术诊断出等离子体反应器内电子密度的分布,并分析了它对薄膜电阻的影响.透射电镜分析表明随沉积温度升高,二氧化锡薄膜从非晶态转变为多晶态,其电阻率随之减小.掺锑的二氧化锡薄膜对石油液化气和酒精具有良好的气敏效应 相似文献
79.
制备工艺对SnO_2超细粉颗粒度的影响 总被引:3,自引:0,他引:3
用液相沉淀法,在分析纯SnCl4·5H2O水溶液中滴加分析纯NH3含量为25%~28%的NH4OH水溶液,得到粒度为几个纳米至二十几个纳米的SnO2超细粉末;系统研究了SnCl4的浓度、滴加NH4OH水溶液的速度、干燥方法、煅烧温度及粉末中氯离子的含量对最终粉末颗粒度的影响规律,并探讨了影响机理 相似文献
80.
纳米微粒SnO2的光限幅特性 总被引:2,自引:0,他引:2
随着高灵敏快响应光电探测器的广泛应用,迫切需要研制一些光限幅器来保护这些精密仪器。光限幅器的工作原理是基于材料的非线性光学特性,因而选择合适材料并研究它的非线性光学响应是非线性光学中非常重要的课题。纳米微粒有相对大的比表面积,在微粒表面存在大量原子空位或缺陷,形成表面受陷态(trapped states)。在外界激光作用下,这些表面受陷态成为有效光生载流子的无辐射途径,导致大的热致折射率变化,形成瞬态热透镜。这个热透镜使信号光束出现扩散或会聚,通过选择样品相对位置,从而实现光束限幅效应。近年来,利用非线性光学原理的光限幅效应研究已有一些报道,大多采用的是有机非线性材料和体相半导体材料,但存在着材料稳定性差及限制效果不太理想等局限性。利用单光束Z-扫描技术,本文进行了表面修饰的SnO_2纳米微粒热致折射率n_2测量和它的光限幅特性研究。 相似文献