EMS系统的设计及实现

针对电信网跨域管理中的困难，提出了一个新的网络管理结构-弹性管理结构（Elastic Management Architecture,EMA)，用于开发紧凑，易剪裁和支持在线可扩展的网管系统，在该结构下，设计开发了弹性管理系统（Elastic Management System,EMS)。并描述了实现EMS的关键技术。     

应用于微结构制造自治系统的第Ⅱ类工艺缺陷诊断

集成电路制造过程结束后,对所关心的电特性参数进行测试,测试结果不可避免地存在着或大或小的波动起伏。电学参数方面的过大波动将带来成品率极大下降,造成第II类工艺故障。本文通过一个实例,详细地介绍了一个用于第II类工艺故障诊断的通用性方法。在对诊断实例进行详细分析的基础上,对于诊断方法本身的特点进行了进一步的讨论。基于正交变换的技术,可以将PCM测试参数转化为一组统计不相关的广义参数,作者特别注意到若干广义参数,它们在所有样本点上的测试值保持为常数。本文结束于对不变参数的初步讨论。     

机械动力学结构模态分析实验的教学改革

针对目前机械动力学课程中悬臂梁结构模态分析实验存在的问题,引导学生将学习过的CAD/CAE软件操作知识运用于该实验,弥补了实验仪器和实验装置的不足,也提高了学生做实验的主动性和创新性,大大提升了实验效果。     

挣值管理(EVM)在大中型研发项目过程中的应用

应用传统的成本和工期管理已经不能够准确反映出成本与进度的绩效水平,更不能进行信息的集成控制。而挣值管理作为一种新兴的项目集成化管理技术,能够实现产品研发进度、成本、质量和技术的综合管理与控制。对此,应结合大中型研发项目的过程特点,在通过行动研究法积累相关实践数据的基础上,运用挣值管理方法作为大中型研发项目日常管理工具的应用管理流程,实现项目管理的正规化和规范化。     

应用于微结构制造自治系统的第I类工艺缺陷诊断

在集成电路制造中,通常采用各电学参数的测试值来衡量和评价工艺效果。一种可能的工艺后果是,出现了测量结果偏离预定目标的第I类工艺缺陷。传统上的基于SPC的工艺控制技术,不含工艺诊断的内容,在寻找造成工艺失效的原因时,存在着巨大的困难。本文对集成电路制造过程中所涉及到的几类重要参数间的关系,进行了详细的分析,由此确定造成诊断问题困难的根本原因,在于测试现象与工艺故障因素之间是多对多的关系。通过正交化的方法,可以将测试参数转化成为一组广义参数。广义参数与故障因素之间存在着一对一的联系。这样就找到了一种有效的,从异常的广义参数值确定失效原因的工艺诊断方法。本文对第I类工艺诊断的技术进行了讨论。在集成电路制造自自治系统中,对于I类工艺缺陷的纠正过程,也就是工艺结果不断向工艺目标趋近的过程。     

应用于微结构制造自治系统的结构描述语言

本文介绍一种微结构描述语言。借助于这种描述语言，包括集成电路、MEMS等在内的各类微、纳尺寸的器件，都能够得到描述并借此进入微结构制造自治系统。微结构制造自治系统是我所提出的一种概念性系统，意指具备一定的智能，能够应对多种制造过程突发情况的全自动化的集成电路无人制造系统。系统在获得特定加工对象的结构描述之后，可对结构进行分析，提取结构特征并自动生成加工制造工艺。本文结合一个CMOS结构实例，介绍了所定义的微结构描述语言的各项先进特性。这方面研究工作的重要意义在于，每个微结构器件，包括将要被发明的，可视为微结构描述语言所能够描述的对象集中的一个特例，从而得到统一的分析与处理。结构特征的分析，为接下来的工艺流程自动生成工作搜集和准备了必要的结构信息。     

应用于微结构制造自治系统的流水线作业调度

在微结构制造自治系统中,作业调度起到至关重要的作用。当前大多数的IC作业调度都是基于组合优化技术的,与以往这些工作不同,本文提出了一种新的基于流水线的调度方案。流水线对于串行作业来说能够达到最佳的运行效率,因此获取最优调度方案问题的关键即在于对IC制造设施进行配置,使之成为流水线。本文对于流水线调度的基本算法进行了讨论。对一个实例进行了基于流水线技术的调度,结果表明多数机器都能够达到100%的最高运行效率。本文所开发的一个调度模拟程序,除了对流水线运行的情况进行模拟外,还能够用作实际的调度器,进行最优化作业调度。     

基于IMM-UKF方法的机电作动器突发性故障诊断研究

飞机飞行控制系统机电作动器（electromechanical actuator,EMA）的突发性故障会影响到飞机的飞行安全性,甚至导致飞机失控.针对EMA的突发性故障,提出一种基于交互式多模型（interactive multiple model,IMM）和无迹卡尔曼滤波（unscented Kalman filter,UKF）相结合的故障诊断方法.该方法利用UKF不仅能更好地逼近状态方程的非线性特性,而且能使滤波器具有更好的稳定性和更低的计算量要求;利用IMM不仅解决了可测量参数偏少导致的故障诊断困难的问题,而且还改善了发生的故障与预先假设的故障差异较大的情况下故障诊断的快速性和准确性.通过对某型EMA进行故障诊断,仿真结果表明所提出的IMM-UKF故障诊断方法可以实现对EMA部件和传感器故障的快速准确诊断.      

应用于微结构制造自治系统的流程自动生成

本文介绍计算机自动生成微结构制造流程的技术。微结构器件的种类繁多,不同器件的加工特点都不相同,即以中等复杂程度的CMOS结构而言,其制造流程就达到了几百个步骤之多,因此流程的生成技术是极具挑战性的。一个适用流程可按由简入繁的过程逐步形成。本文首先介绍了根据器件结构的特点,确定单元加工顺序的优先级方案;在单元加工顺序确定后,参照本文所定义的一个原型工艺库,可以将对单元的加工处理展开成局部的工艺步骤串;工艺步骤串连缀而成的初始工艺流程,经过一定的优化与适配工艺条件的之后,产生出在实践中能够直接使用的、详细的工艺流程卡。     

基于EMA的大型网络仿真场景生成技术

在利用计算机仿真技术研究大规模网络的性能时,如何便捷精确地构建网络仿真场景是其中一项关键步骤。该文结合可扩展标记语言(ex tens ib le m arkup language,XM L)和OPNET的外部模块访问(ex terna l m ode l access,EM A)技术,提出了一种网络仿真场景自动生成技术。运用该技术,独立于OPNET平台开发的第三方程序,首先导出数据库中的网络场景数据生成XM L文档,然后通过解析XM L文档,自动生成能够由OPNET进行仿真的标准网络模型。该技术既实现了OPNET资源的多用户共享,又避免了以传统方式构建大规模网络场景时所需要的繁杂的手工操作,具有良好的实用价值。