纳米级电子束光刻技术及ICP深刻蚀工艺技术的研究

对100kV高压电子束光刻系统的曝光工艺进行了系统研究,针对正性电子束抗蚀剂ZEP520A进行了工艺参数的优化,在具有合理厚度、可供后续加工的光刻胶上获得了占空比为1：1,线宽为50nm的光栅图形.针对ICP刻蚀工艺进行了深入研究,探讨了刻蚀腔体气压、电极功率、气体流量等工艺参数对刻蚀效果的影响,最终在硅基底上获得了线宽为100nm,占空比为1：1,深度为900nm的光栅图形,光栅的边壁波纹起伏小于5nm.100nm以下深硅刻蚀技术的发展,有利于工作区域在可见光范围的纳米光学器件的制备.     

循环荷载作用下软黏土累积塑性应变与微观参数灰色关联分析

通过一系列宏微观试验,系统地进行了软黏土在循环荷载作用下宏观累积塑性应变的变化规律研究,建立了微观参数与宏观累积塑性应变的灰色关联度,明确其关联特征.研究表明:在循环荷载作用下,软黏土累积塑性应变呈现明显的3个阶段特征.振动前期,由于颗粒破碎造成平均粒径呈下降趋势;平均孔径由4.39μm下降至3.05μm.振动后期,颗...     

Robust Consensus and Soft Control of Multi-Agent Systems with Noises*

This paper considers the problem of robust consensus for a basic class of multi-agent systems with bounded disturbances and with directed information flow. A necessary and sufficient condition on the robust consensus is first presented, which is then applied to the analysis, control and decision making problems in the noise environments. In particular, the authors show how a soft control technique will synchronize a group of autonomous mobile agents without changing the existing local rule of interactions, and without assuming any kind of connectivity conditions on the system trajectories.     

催化剂粉尘浓度软测量建模研究与应用

采用基于Mie理论的激光散射法测量催化剂粉尘浓度时,催化剂粉尘浓度与监测参数——入射光强、散射光强、出射光强以及烟气流量之间存在着复杂的非线性关系,给粉尘浓度的准确测梁带来困难。利用支持向量机优良的非线性映射和强大的泛化能力,建立了一个基于最小二乘支持向量机的催化剂粉尘浓度软测量模型,给出了相应的系统结构和算法,并通过网格搜索和交叉验证的方法对支持向量机进行参数选择。采用遗忘因子法和数据滑动时间窗技术对工业软测量模型进行在线校正,克服了工况条件发生改变时的估计偏差,提高了估计精度。仿真和实际运行结果表明基于LS-SVM的软测量模型具有较高的估算精度与泛化能力,为催化剂粉尘浓度的在线测量提供了一种简单、可靠的新方法。     

以数据库为中心的应用系统开发的一种新模式

结合当前软件开发的若干新概念和新技术,如体系结构、设计模式、面向GUI(Graphical User Inter-face)、软件重用与软构件、软件演化等,对以数据库为中心的应用系统的开发提出一种新的模式,实现相关的基础设施和支持工具.它首先设计和选择一个合适的体系结构,再通过设计模式命名,抽象化,确定一个通用设计结构,保证使用设计模式的软件子系统有较好的灵活性和可重用性.通过对应用系统的基本行为分析,建立一个以GUI为驱动的基本操作行为模式构件库.该数据库可为终端用户的应用程序开发提供一种高效灵活、简单易用,且能适应用户个性化和特殊应用逻辑需求,以及能进行演化以适应业务发展的变化的机制.     

基于模糊相似度的科技文献软聚类算法

本文提出了一种新的文档软聚类算法。将关键字通过文档的题名、摘要进行映射扩展,并对关键字的出现位置进行加权构造文本向量空间。利用模糊最大支撑树聚类过程中类间和类内相似度变化的规律自动识别最佳聚类数K及硬聚类簇。以硬聚类簇为核心将聚类相似度减小到下相似度进行扩展,从而形成相应软聚类。实验表明该算法能够有效地降低特征维数、提高软聚类精度和速度。     

速度时变的多中心半开放式车辆路径问题研究

针对多中心半开放式车辆路径问题,考虑软时间窗约束和车辆速度变化情况,构建了最大化平均客户满意度、最短配送距离和最小配送成本为目标的优化模型,并设计了两阶段求解算法。基于自适应网格密度法和邻域拥挤密度法对多目标粒子群算法的外部档案进行维护及选取全局最优粒子,提高算法的收敛性和后期种群多样性,以获得初始可行解。用变邻域搜索算法优化初始可行解,减小配送距离,降低配送成本。通过仿真实验结果验证了模型的合理性和两阶段算法的有效性。     

煤矿松软岩层的变形特征及支护形式的选择

分析煤矿松软岩层变形的基本特征,并根据软岩的基本属性和变形特征决定支护原则和施工工艺。     

浅谈软基处理的几个问题

本文结合本人的工作实践和学习体会,谈谈软土地基的特性、软土路堤的稳定、沉降以及软基处理常用方法并对其进行简要的评价。     

学校是社会发展的摇篮

一个国家只有培养出充满理想、信仰、责任、热忱的青年人，勇敢地承担民族和国家赋予的使命，那么，民族才会有希望，作为中职学校责任更加重大。中等职业教育现状，学生素质低，德育教育偏软，无惩罚教育倾向严重，改变现状要把重视传统道德教育是首要任务，将教育惩罚作为学校教育的一个重要手段．将课堂教学作为德育教育的阵地，引导学生新形势下树立新的价值观念、竞争观念、法制观念、引导学生注重情感、关心集体观念。