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431.
432.
探讨了离子注入中的温升问题.这种温升可用试验方法进行测量.研究了几种测温方法(例如低熔点金属法和硬度法).分析了降低注入样品温升的一些途径.  相似文献   
433.
利用离子束混合方法在Sm质量分数为20%的Sm-Fe多层薄膜中,当注入能量为60keV的N离子时,成功地制备出Sm-Fe-N磁性薄膜.经透射电镜(TEM)和X射线衍射(XRD)分析发现:当N离子的注入剂量为1×1017/cm2时,形成Sm2Fe17Nx磁性薄膜;而N离子的注入剂量为2×1017/cm2时,Sm-Fe多层薄膜转变成非晶磁性薄膜,而且Sm2Fe17Nx磁性薄膜和Sm-Fe-N非晶磁性薄膜的磁性(饱和磁性强度、矫顽力)与注入前的Sm-Fe薄膜相比有明显的提高  相似文献   
434.
435.
436.
对注Si ̄+的GaAs样品(注入能量180keV、剂量5×l0 ̄(12)~10 ̄(15)cm ̄(-2)采用白光快速退火,测量其χ射线双晶衍射谱并结合背散射,Hall测量结果,分析了注入引起的应变及掺杂机理。根据电学测量结果用迁移率理论计算了补偿比.结果表明:GaAs中Si ̄+注入掺杂,在低剂量注入时,Si的两性是影响激活率的主要原因;高剂量注入时,残留间隙Si原子的存在是导致激活率低的主要因素。  相似文献   
437.
概述了280keV离子注入机磁分析器的设计和性能,详细地讨论了调节极面对聚焦的影响。  相似文献   
438.
439.
采用离子注入方法制备的Sm-FeM-N磁性合金薄膜,研究少量Co部分取代Fe对薄膜磁性能的影响,探索研究SmFeM-N磁性材料的新途径,实验发现Co^+注入使样品的饱和磁化强度明显增加,Sm-FeM-N薄膜的饱和磁化强度是Sm-Fe-N薄膜的1.6倍。经TEM分析,Co^+没有与Sm或Fe形成化合物。  相似文献   
440.
研究Mo离子注入Al2O3表面机械性能的变化及产生变化的原因。结果表明,Mo离子的注入,在Al2O3表面产生辐射损伤,使表面残余应力、表面硬度及断裂韧性提高。  相似文献   
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