基于液滴锡靶LPP-EUVL光源多层膜的溅射损伤研究

基于Navier-Stokes方程的自相似解,研究了最小质量限制液滴Sn靶激光等离子高能离子的时空分布特性,并将该结果应用于高能离子碎屑刻蚀导致的极紫外光刻(EUVL)光源收集镜寿命的评估.对于不同的绝热膨胀指数γ＝1.67、1.3和1.1,数值计算了激光等离子体平均电离度、等离子体羽辉尺寸、羽辉膨胀速率和离子动能随时间的演化,并得到了高能Sn离子碎屑通量的角分布及其轰击溅射Ru、Mo和Si膜的溅射产额及溅射刻蚀速率.研究发现,激光液滴靶等离子体中的高能Sn离子对Mo,Si多层膜的溅射刻蚀率的角分布满足cos3θ的关系.对EUVL光源而言,为了延长EUV收集镜寿命,降低激光等离子体电离度和采用最小质量限制液滴Sn靶是一条有效的途径.     

东海椒江凹陷晚古新世物源变化

为深入分析椒江凹陷上古新统明月峰组物源,探索适用于海域的物源研究方法,对东海椒江凹陷的岩石组分、重矿物及碎屑锆石U-Pb定年等数据进行物源综合分析.结果显示,凹陷东部明月峰组上段和下段的物源发生了改变,其下段物源主要来自凹陷东部的海礁隆起,以过渡弧-切割弧环境的酸性侵入岩为主,主要源岩时代为183~209Ma,有少量变质岩及其他中生代火成岩贡献;至明月峰组上段沉积期,物源以过渡弧环境下的酸性喷出岩及侵入岩为主,碎屑锆石年龄集中于106~116Ma,与围区物源特征基本相同;结合沉积体系演化分析,表明整个椒江凹陷的物源来自西部的浙闽隆起区.研究区物源变化是构造、沉积环境在晚古新世发生剧变的结果,这种物源变化对该区的盖层发育及对油气层封盖能力产生了较大影响.     

长江水系沉积物碎屑石榴石化学组成及物源示踪

长江流域主要干流和支流碎屑沉积物中的单颗粒石榴石化学组成分析显示,石榴石元素组成以SiO_2、FeO、Al_2O_3、MnO、CaO、MgO、TiO_2为主,石榴石组合主要是镁铝榴石、铁铝榴石、钙铝榴石和锰铝榴石,其平均物质的量分数分别是65.4%、13.8%、9.4%和11.5%.利用石榴石G-P-AS物源分析方法,可以识别出长江流域的特征石榴石组合.长江水系沉积物中碎屑石榴石呈低Mg、高Mn特征,其源岩以中低级变质岩为主,长江流域出露的片岩、千枚岩和大理岩以及低温接触变质岩控制了沉积物石榴石的组成.金沙江是长江入海粗粒沉积物的主要来源,石榴石组合呈现为典型的低Mg、高Mn特征,与整个长江干流石榴石组成一致,但由于未受到中下游近源沉积物影响,其石榴石组合可以作为长江特征物源端元,用以中国东部海域沉积物物源示踪.     

奇特羽状尾小行星或由碰撞碎屑造成

近日，科学家宣称之前发现的一颗拥有奇特羽状尾的小行星希拉，其怪异的外形是由于之前和一个较小天体发生碰撞所致。科学家发现这颗小行星亮度比预计高了两倍，外侧似乎还具有一层发光包裹层。     

大同煤田石炭-二叠纪煤系沉积物源分析

通过对大同石炭-二叠纪煤系沉积物的碎屑特征分析,提出沉积物来源方向和陆源区域位置,揭示陆源区构造背景的演化对沉积物源组分的影响,为大同进行古生代煤岩层对比、预测煤层厚度变化规律等提供了依据。     

华夏地块生长与演化：来自赣江河流沉积物碎屑锆石Lu-Hf同位素的制约

为研究赣江河流沉积物的物质来源及源区地壳生长和演化规律,对已报道年龄的123个赣江河流沉积物碎屑锆石中的80个代表性锆石开展Lu-Hf同位素组成分析。研究表明:赣江碎屑锆石年龄分布特征与华夏地块的年龄分布非常一致,表明赣江沉积物主要来源于华夏地块;结合Hf同位素分析结果,能够反映源区华夏地块的形成与演化历史。新太古代锆石的εHf(t)值近似为0,表明该时期发生了强烈的壳幔混合作用;中-新元古代锆石εHf(t)值既有正值也有负值,说明源区物质既有古老地壳物质的再循环,也有新生地壳物质的加入;显生宙以来,εHf(t)值绝大多数为负值,且对应的两阶段模式年龄以古元古代-中元古代的年龄为主,说明显生宙以来的岩浆活动主要来源于古元古代-中元古代新生地壳的再造,直接来源于亏损地幔的物质很少。2.1~1.1 Ga是华夏地块地壳生长的主要阶段,此阶段形成的物质构成现今华夏地块全部地壳物质的80%以上。     

广西浪平地区黄龙组底部的核形石及其意义

广西浪平地区石炭纪地层出露完整，在黄龙组底部发育一套核形石生物碎屑灰岩.为了深入认识核形石的形成环境及地质意义，开展了古生物学、沉积学和岩相学研究.核形石生物碎屑灰岩中虫筳类化石表现出Profusulinella aljutovica-Taitzehoella taitzehoensis extensa带的特征，指示其发育在莫斯科期的初期.本文共识别出4种核形石类型:泥晶核形石、富屑纹层核形石、藻(菌)纹层核形石和复合纹层核形石;以及4种沉积微相:MF1，MF2，MF3和MF4.在莫斯科期初期，海平面开始回升，使该地区的沉积环境发生变化，为核形石的形成提供了微生物活动基础和水动力条件.     

新疆库鲁克塔格地区特瑞艾肯冰期时代的碎屑锆石年代学制约

通过对特瑞艾肯组冰碛岩顶部含砾粉砂岩的碎屑锆石年代学分析, 得到最年轻锆石的年龄为629±8 Ma, 代表特瑞爱肯冰碛岩的沉积时代上限。该年龄限定了特瑞爱肯冰期的结束时代, 并可与扬子板块的南沱冰期以及全球范围的Elatina冰期或Marinoan冰期对比。其余较老年龄集中分布在 718~887 Ma, 1822~2092 Ma 和2345~2613 Ma, 暗示库鲁克塔格地区前寒武纪的3 个主要岩浆活动时期。     

不落轮镟床碎屑器的设计与改进

南京地铁一号线进口的TF2000HD型数控不落轮镟床,配备了一套碎屑传送系统。其中的碎屑器,断屑不彻底,易卡滞、堵塞,造成反复清堵检修,费时费力。今文,笔者从碎屑器装置结构分析人手,对刀盘（片）与隔套的材料、加工工艺、外形参数等方面重新设计,改进后,碎屑效果改善显著。 一、问题概述     

不落轮镟床碎屑器的设计与改进

<正>南京地铁一号线进口的TF2000HD型数控不落轮镟床,配备了一套碎屑传送系统。其中的碎屑器,断屑不彻底,易卡滞、堵塞,造成反复清堵检修,费时费力。本文,笔者从碎屑器装置结构分析入手,对刀盘(片)与隔套的材料、加工工艺、外形参数等方面重新设计,改进后,碎屑效果改善显著。