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本文研究了一种新型微机械CMOS热导压力敏感器。其压力测量范围是0.001-100 Torr。整个量程范围内,多晶硅热敏电阻相对变化(即灵敏度)优於30%。为使敏感器结构性能优化,我们首次开发了一软件包对器件热电性能进行数值模拟。三维模拟问题被简化为两个2-D模拟,并将由稳态能量平衡得到的方程组离散化用非线性Gauss-Seidel算法迭代求解。器件敏度的模拟结果和实验值相吻合。文中还对温度分布进 相似文献
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介绍以中空涤和十字截面涤作为功能原料开发功能面料的原理和方法,并就其相关性能进行测试测试表明,该面料具有较好的保暖性和导湿性,并具有良好的尺寸稳定性。 相似文献
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大直径钢丝绳轴向励磁磁路的研究 总被引:7,自引:0,他引:7
在分析钢丝绳状态检测已有的励磁方式的性能的基础上,针对大直径钢丝绳的特点,提出了二级励磁磁路结构,分析了二级励磁磁路结构的磁场特性,表明具有二级励磁结构的系统所获取的断丝信号信噪比高,无漏检,为断丝的定量识别提供了保证。 相似文献
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