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41.
光学镀膜仪静态特性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
光学镀膜仪的静态特性是高精度镀膜系统的重要因素。对典型镀膜仪的膜厚监视器的静态漂移数据,采用t检验、回归分析、方差分析、样本标准偏差和不确定度分析等方法获得其静态特性。发现不同预热时间有不同的系统静态特性;建立静态漂移的线性回归、二次回归数学模型,其线性漂移率为-5.5×10-5,二次漂移率为5.02322×10-8;显示值相对于期望曲线的最大偏差为±4×10-3。该静态特性详细、稳定和精确,为镀膜经验控制、膜系修正和自动化系统开发奠定了基础。 相似文献
42.
43.
李东光 《上海理工大学学报》1985,(3)
镀制多层宽带光学增透膜是改善镜头成象质量,提高光能透过率和协调彩色平衡的必要手段。本文采用二次设计原理,结合正交试验法编制膜系自动设计程序。设计结果表明不但光学性能优良,而且工艺稳定性好,从而可以利用误差来源多、控制精度低的设备镀制出高质量的膜系。文中详述了设计方法并给出程序框图和设计结果。 相似文献
44.
采用溶胶-凝胶工艺制备低折射率二氧化硅(SiO2)增透薄膜,用AF2400(Telflon)对薄膜进行表面处理得到AF2400-SiO2疏水复合光学薄膜.对薄膜的表面形貌、疏水性能、光学性能等进行测试,结果显示AF2400-SiO2复合光学薄膜表面平整,折射率为1.21,疏水角可以达到110°~120°. 相似文献
45.
磁控溅射作为一种应用广泛的真空镀膜技术,被普遍和成功地应用于许多方面,如材料表面处理、微电子、光学薄膜等,目前磁控溅射技术应用的领域还在不断扩展。 相似文献
46.
用波阻抗方法对具有“周期”性介质层的λ0/4膜系进行了研究,对不同层数的ZnS-MgF2λ0/4(λ0=0.46μm)膜系给出了一些计算结果,由计算结果可见,当采用奇数层λ0/4膜系,层数愈多,比值εh/ε1较大时,反射系数Г0(0)接近于-1,反射率愈大;当采用偶数层λ0/4膜系,层数愈多,比值εh/εl较大时,反射率愈大,但较奇数层变化缓慢,反射系数Г0(0)接近于+1。 相似文献
48.
<正> 光学薄膜反应离子镀技术是近10年来镀膜技术的最新突破,也是当今国际薄膜界研究的热点。本文以简明扼要的方式报道了作者对反应离子镀技术的最新研究成果。1 原理与实验装置光学薄膜反应离子镀技术是传统 相似文献
49.
本文从导纳匹配的观点出发,分析了诱导设计的滤光片的反射率和势透射率特性,提出分别对势透射率和反射率作最佳部分匹配的诱导设计方法,并给出匹配介质层匹配相位的解析表示式。 相似文献
50.
研究了溶胶-凝胶法制备的TiO2和SiO2光学薄膜的粒度分布函数,结果表明:膜表面的粒度大小与热处理温度及陈化时间有关,粒度分布函数可分为泊松分布,正态分布等。 相似文献