单晶硅晶圆晶向的精确标定方法

针对工业用单晶硅晶圆上所标记的大晶向的精度不能够满足微电子与机械系统 (MEMS)器件加工要求的缺点 ,提出了一种用于精确标定晶圆晶向的方法 .该方法通过一组精心设计的对比图案和随之进行的预刻蚀加工 ,把单晶硅晶圆的主晶向清晰地显示了出来 .为了准确地识别出晶圆的主晶向所在的方位 ,采用数字图像处理技术 ,对显微照相的图片进行了数学处理 .分析结果表明 ,采用所提出的方法 ,可以将晶圆的晶向定位精度由原来的± 1°～± 2° ,提高到± 0 1°以上 ,而这种对准精度对大多数MEMS器件的加工已足够了 ,后续的加工实验结果也验证了所提出方法的有效性     

影响穆斯堡尔谱精确测量若干问题的研究

描述穆斯堡尔谱仪的系统原理、结构和驱动机制 ,对探测器的选择与 14 .4keV能量窗口的甄别、放射源匀加速运动、驱动波形与同步问题进行分析 ,提出谱仪使用和调整时的应引起注意的问题 ,并就其对穆斯堡尔谱精确测量的影响进行探讨。     

Hajek定理的一种多维形式

文章对独立、同分布的线性秩统计量渐近正态分布的Hajck定理进行了推广,得到了k维秩线性统计量渐近正态性的结果。     

大鼠脾不统血证模型免疫器官—免疫细胞的变化

Wister大鼠灌胃酒醋及阿斯匹林,造成脾不统血征(上消化道出血)动物模型。结果:模型组动物中枢免疫器官胸腺皮质的淋巴细胞减少,髓质PAS阳性物质减少;周围免疫器官脾脏T细胞区和B细胞区缩小。免疫细胞白细胞、红细胞、血小板减少,RBc-c_3b受体花环率、RBc-IC花环率降低,与对照组动物比较有显著性差异。经归脾丸及其加味反证治疗,病变得以恢复。提示脾化生之气血为免疫的物质基础。     

社会经济系统仿真方案的多层次Fuzzy综合评价

基于Fuzzy集合理论,提出了一种社会经济系统仿真方案的多目标、多层次Fuzzy综合评价方法,对不同评价原则下的多种Fuzzy算子的组合策略作了探讨,给出了多种多目标权系数赋值方法以及多种评价矩阵隶属度确定方法.实践表明,应用该方法可将因素对方案的影响通过不同层次、不同阶段较为直观地表现出来,从而较好地保证了方案评价的客观性.     

济南可持续发展对策研究系统动力学模型

应用系统动力学方法，建立了济南可持续发展对策研究系统动力学模型，仿真模拟了济南多种发展对策方案确定了其中最优的一个，为济南城市综合实力评价分析与对策研究提供理论上和数据上的支持。     

湘西麻阳上白垩统麻阳含铜建造中发现巨型痕迹化石

简要报道湘西麻阳上白垩统麻阳含铜建造中新近发现的一种巨型痕迹化石。该化石为圆柱状或椭圆柱状，直或略曲，不分叉，不分节，潜穴壁平滑，直径１０ｃｍ左右，保存长度３ｍ左右，初步定名为＂巨型漫游迹（Ｐｌａｎｏｌｉｔｅｓｇｉｇａｓｓｐ．ｎｏｃｖ）＂。这一发现对于痕迹化石及麻阳含铜建造的研究具有一定意义．     

计算机小型化技术思考

本文主要讨论了以芯片制造技术为基础的计算机小型化技术。     

灰色快车道数学模型的建立与研究

灰色快车道数学模型的建立与研究徐兵，王丽华（吉林职业师范学院）（长春邮电学院，１３００１２）ＥｓｔａｂｌｉｓｈｍｅｎｔａｎｄＲｅｓｅａｒｃｈｏｎｔｈｅＭａｔｈｅｍａｔｉｃＭｏｄｅｌｏｆＧｒｅｙＴｕｒｎｉｋｅＸｕＢｉｎｇ（ＪｉｌｉｎＶｏｃａｔｉｏｎａｌ...