压印光刻中高精度莫尔对准方法的研究

针对分步压印光刻工艺中多层套刻的高精度对准问题,提出一种应用斜纹结构光栅副实现x、y、θ三自由度自动对准的方法.光栅副分为4个区域,应用光电转换器阵列检测光栅副相对移动所引起的莫尔信号变化,通过电路系统处理可同时得到在平面x、y、θ三自由度的对准信号.驱动环节采用直线电机和压电驱动器作为宏微两级驱动,其分辨率分别为0.2μm和0.1nm,在激光干涉仪全程监测下,与控制系统一起构成闭环系统实现自动对准定位.实验结果表明,在多层压印光刻工艺中,实现了压印工作台步进精度小于10nm的高精度定位要求,使整个对准系统的套刻精度小于30nm.因此,应用这种莫尔对准方法可以获得较高的对准精度,同时能够满足压印100nm特征尺寸套刻精度的要求.     

带有不确定性的扇形区域极点配置可靠控制

利用LMI给出了带有不确定性扇形区域极点配置的可靠控制器存在的充分条件.研究成果应用在CH-47双旋翼直升机模型上,不仅验证所提出方法的可行性;而且比较了带有不确定性扇形区域极点配置标准控制器和带有不确定性可靠控制器的控制效果.     

双主动圆盘式电流变传动器的数学模型

在基于虚拟仪器构建的通用的电液测控实验台上,采用Bingham模型描写电流变液,建立电流变传动器的离散数学模型.对于随机负载干扰和不确定摩擦阻尼的情况,利用输入输出角度和转矩的采样数据,识别模型的系数,并可计算系统的无阻尼自然频率和阻尼比或时间常数.所建立的数学模型与基于Leven berg-Marquardt算法的人工神经网络建立的模型相比较,能更有利于对电流变传动系统进行结构设计、参数识别和系统控制.     

盘式电流变传动机构的动态模型研究

电流变流体是一种智能软物质，圆盘式电流变传动机构是电流变技术的主要应用领域，利用时间序列模型，对电流变传动机构的动态模型进行理论和实验研究，提出用时间序列模型和功率谱密度，来确定实际系统的动态参数，测试和控制过程采用NI虚拟仪器构建的系统自动进行，这是一个通用的动力学实验平台。     

多媒质区域介质子网格时域有限差分法

介绍了应用于多媒质区域电磁问题的介质子网格时域有限差分法．该方法在保证精度的前提下，节省了大量计算时间及计算机内存，尤其在处理多媒质界面方面具有很大的优势．     

直线振荡电机的特性分析

主要介绍了一种圆筒型动铁式直线振荡电机的构造及其工作原理。用有限元法进行了静推力计算并与测量值进行了比较，计算和测试结果相比较所得的最大误差为25％。该电机结构简单。运行平稳，可用于小功率电磁阀控制的开关系统中。     

基于Delphi的多层结构安全稳固技术的实现

传统的二层客户／服务器结构在大规模MIS应用中表现出许多局限性，为此多层结构应用体系应运而生，多层结构已成为目前分布式系统的主要应用结构。其安全稳固问题一直受业界关注。阐述了3种基于Delphi的多层结构安全稳固技术(容错技术、负载平衡技术、暂存数据技术)的原理，并给出了程序实现代码。     

矿井通风系统多目标模糊优化的数学模型

按目标分层，用分层模糊优选理论对矿井通风系统设计方案进行优选，分层时允许评价因素重叠，从而便于确定目标与评价因素的权重。本研究成果已应用于中条山有色金属公司胡家峪铜矿通风系统优化研究中，同时本文的方法也可以应用于其它领域中的类似问题。     

基于MCS-96单片机系统的双通道高速数字调节器设计

介绍一种数字调节器，该数字调节仪采用MCS-96单片机为CPU的STD总线工控机作为主控单元，具有双通道PID调节功能，两套调节器可在线相互热备。数字调节器具有手动与自动无扰切换、预置参数、在线观查参数、实时检测超差、超限、光电隔离、PID参数数字设定、故障报警、数字显示输出值、并具有数字滤波等功能。经过长期实际应用证明，该调节器性能可靠，操作简便，调节快速。并且性价比高，应用领域广泛，具有推广价值。     

模型参考控制在两级驱动伺服系统中的应用

基于计算机硬盘的两级驱动伺服系统，采用模型参考控制改善VCM伺服环的输出，并将其回馈给MA伺服环作为输入，利用MA高频宽、响应快等优点，调节VCM输出及位置误差信号，获得较为理想的复合输出结果。实验仿真结果验证了本文控制算法的有效性。