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981.
以四甲基硅烷作为单一反应前驱体气源,采用等离子体增强化学气相沉积法在Si晶片(100)上生长SiC薄膜,研究了电极距离对薄膜微观结构和性能的影响。结果表明:在实验设定的5~9 cm电极距离下所制备的薄膜成分以SiC键为主,具有极低的表面粗糙度(1.30~2.44 nm)和较高的硬度与弹性模量比(H/E值为0.134~0.154);电极距离越短,薄膜的密度越高。实验结果为SiC薄膜在惯性约束聚变实验中的应用奠定了基础。 相似文献
982.
983.
通过解析和数值方法研究了相对论长脉冲激光在非均匀等离子体中的传播.首先,得到了激光脉冲在均匀等离子体中传播的解析解,并通过数值模拟进行了验证.结果表明,长脉冲激光在均匀等离子体中传播时,脉冲宽度的变化不影响激光强度空间分布的变化;然而,激光脉冲的强度和电子密度的空间分布可以通过调制等离子体频率来调节.在具有高斯型密度分... 相似文献
984.
本文建立了中压情况下耦合麦克斯韦方程的自洽二维流体等离子体模型,添加了有关分子离子的一系列动力学反应方程,展示了在中压条件下的激发过程中电子密度、温度、电场模值、趋肤深度等参数的变化. 分析了分子离子空间分布的主要原因. 另外与常压微波等离子体对比发现中压微波等离子体气体温度较低,对石英管的损害较小,能够适用于各种废气的处理、纳米颗粒的合成以及薄膜的制备,易于实现大规模化,具有很好的应用前景. 相似文献
985.
鞘层特性直接影响微波等离子体应用于工业等领域的质量,针对研究其时变的空间分布和电场分布具有一定难度的问题,运用有限元的方法建立了中等气压下耦合麦克斯韦方程的微波氩等离子体三维模型,对鞘层的时空特性进行分析,给出了其二维等效模型.基于对等离子体参数的分析,讨论了鞘层的形成过程及其厚度的变化趋势,对比分析了等离子体电场及微波电场的时空瞬态特征.结果表明:在时间上,由于电子与离子的扩散速度和受力方向不同,鞘层的厚度呈逐渐增大的趋势,并最终形成稳态鞘层;在空间上,鞘层存在于所有与等离子体接触的放电管壁附近,鞘层区域的电场强度始终大于等离子体主体区域,且电场方向始终指向管壁,对微波电场产生阻尼作用.此外,通过量化分析证明了鞘层厚度随压强的增大而逐渐减小. 相似文献
986.
主要介绍了不同表面拉曼增强基底的发展历程,包括金属溶胶、金属颗粒附着的固体基底及以石墨烯为代表的碳基材料基底,并对其背后机制进行了完整的介绍.结合相关背景分析了未来表面拉曼增强研究的趋势. 相似文献
987.
高速流场主动流动控制激励器研究进展 总被引:2,自引:0,他引:2
主动流动控制激励器是主动流动控制技术发展的核心问题之一.有效的主动流动控制技术对于保证高速飞行器的飞行安全性、改善飞行器可操纵性和提高飞行器推进效率具有重要意义.高速飞行器技术的发展促进了新型激励器的不断出现,同时也为激励器设计提出了新的更高要求.本文对现有可用于高速流场主动流动控制的典型激励器进行了综述,讨论了激励器的分类和激励器不同工作性能评价参数,重点分析了流体式、机械式和等离子体式三种类型激励器的结构设计、工作机理和应用特性,并结合高速流动控制的实际需要和现有激励器的研究成果,提出了一种新的激励器设计方法.最后本文对各激励器的优势和存在的不足进行了总结,对主动流动控制技术的发展提出了几点建议. 相似文献
988.
低温等离子体处理柴油机有害排放试验 总被引:2,自引:0,他引:2
根据低温等离子体的产生原理和柴油机有害排放物的生成特点,设计了结构和功能具有实用性的等离子体反应器;通过静态试验研究了介质阻挡放电的放电特性及其影响因素,探讨了低温等离子体的化学反应机理;通过柴油机台架试验对低温等离子体处理柴油机排气中的碳烟和NOx进行了研究.结果表明。选用介电常数较大、厚度较薄的介质材料以及合适的放电间隙容易产生强烈的放电,低温等离子体对碳烟具有较高的去除率,亦可有效减少NO,而NOx总量基本不变.排气在等离子体反应区内的有效滞留时间是影响转化效率的重要因素. 相似文献
989.
聚四氟乙烯结构氟碳聚合物(Polytetrafluoroethylene-like fluorocarbon,PTFE-like FC)薄膜具有超低介电常数、高疏水性和生物相容性等优点.综述了国外制备PTFE-like FC薄膜的实验进展,分析了PTFE-like FC薄膜可能的沉积机理,指出热丝化学气相沉积(HFCVD)和射频等离子体辅助的化学气相沉积(rf-PECVD)这2种方法更有利于减少离子对薄膜表面的轰击作用,被认为是目前沉积PTFE-like FC薄膜最好的2种方法.介绍了利用介质阻挡放电(DBD)方法在低气压下制备PTFE-like FC薄膜的最新进展. 相似文献
990.
采用空气大气压介质阻挡放电对亚麻织物进行表面处理,在处理后的亚麻表面接枝聚合丙烯酸,进而提高亚麻织物的上染率.用SEM观察了亚麻的表面形貌,用热分析方法与红外光谱证实接枝的有效性,用吸收光谱法评定了接枝率.研究了放电电压、处理时间对接枝率的影响,发现随放电电压的升高,接枝率升高;随处理时间的增加,接枝率在前30 s处理时间内迅速增加,随处理时间的进一步延长,接枝率反而下降,最后呈现一种饱和的趋势,接枝率最大提高为46.6%.染色照片表明染色的不均匀性应该是染色过程造成的. 相似文献