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101.
等离子体波动方程的摄动分析   总被引:3,自引:3,他引:0  
分析了热等离子体中离子声孤子存在及传播的力学机制,并根据远方场简单波理论,采用摄动方法推导出了KdV方程。  相似文献   
102.
本文简要地介绍了美国隐身战斗机F—117A的有关情况,并模拟了F-117A的外形,制作了模型,经雷达测试后,得出在各姿态角下的雷达散射截面,用突防理论对F—117A进行隐身性能分析。并据此得出了应加强具有隐身性能材料研究的结论。  相似文献   
103.
用高能量密度等离子体在室温下制备氮化钛薄膜   总被引:3,自引:1,他引:2  
闫鹏勋 《科学通报》1994,39(17):1547-1547
氮化钛薄膜具有很多优异的性质,如高硬度,耐磨性,耐腐蚀性以及漂亮的金黄色.它是唯一在工业上被广泛运用的镀膜材料.然而目前主要沉积氮化钛膜的技术,如化学气相沉积(CVD),物理气相沉积(PVD)和近几年发展起来的离子束技术(IBM,IBAD)都有其自身难以克服的缺点,它们限制了氮化钛薄膜沉积技术的应用范围.这些缺点是:反应温度太高,镀膜与基底结合不牢,以及沉积速率太低.  相似文献   
104.
105.
106.
107.
等离子体聚合膜的制备,性能及其应用   总被引:4,自引:0,他引:4  
研制等离子体聚合装置,并用研制的装置在铝,银等材料上聚合六甲基二硅氧烷膜,进而分析膜的组分及性能,在设计的装置中,选用铝,银等材料作基材,用六甲基二硅氧烷作单体,进行多次放电聚合试验。在基材上可制备出硬膜,膜与基材粘附性好,并具有良好的电绝缘性和优异的抗氧化性。  相似文献   
108.
由于常规等离子体刻蚀系统在晶圆边缘处的阻抗与晶圆中心处的阻抗不一致, 使离子在晶圆边缘处的运动轨迹发生偏移, 很难满足越来越高的刻蚀工艺均匀性及深宽比的要求。本文提出一种通过调整晶圆边缘阻抗进行边缘离子运动方向优化的方法, 可以连续实时地调整边缘离子的运动轨迹, 实现对边缘离子运动方向的控制。研究结果表明, 离子的运动方向可以被优化为垂直于晶圆表面, 从而能获得良好的刻蚀速率均匀性及垂直的刻蚀形貌。  相似文献   
109.
通过自相似变换,将描述非磁化无碰撞尘埃等离子体集体运动的非线性偏微分方程组化成常微分方程组,在准中性条件下分别得到了绝热和等温过程的解析解。在中性的初始条件下,用自然界2种实际的尘埃等离子体参数,讨论了绝热过程中尘埃颗粒的分布情况和尘埃温度、尘埃带电荷数以及尘埃相对于离子数密度的比率等因素对尘埃颗粒分布的影响,结果显示:尘埃颗粒多分布在时空边缘,时空中心区域稀疏甚至没有尘埃颗粒,且高温、高带电量以及相对于离子数密度比率高的尘埃等离子体中的尘埃颗粒的分布更趋于时空边缘。  相似文献   
110.
高能粒子是探索物质微观结构,揭开有关宇宙结构和演化的最强有力工具.但受限于加速器的加速场强和尺度,人类能将粒子加速到最高多少能量还不得而知.最近一系列的新颖加速技术,如等离子体加速、激光加速,将有可能大幅提升加速粒子的能量,为人类探索自然提供更强有力的手段.  相似文献   
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