全文获取类型
收费全文 | 201篇 |
免费 | 4篇 |
国内免费 | 7篇 |
专业分类
系统科学 | 1篇 |
丛书文集 | 8篇 |
教育与普及 | 17篇 |
理论与方法论 | 1篇 |
现状及发展 | 7篇 |
综合类 | 178篇 |
出版年
2024年 | 2篇 |
2023年 | 5篇 |
2022年 | 3篇 |
2021年 | 6篇 |
2020年 | 4篇 |
2019年 | 6篇 |
2018年 | 3篇 |
2016年 | 3篇 |
2015年 | 6篇 |
2014年 | 10篇 |
2013年 | 9篇 |
2012年 | 10篇 |
2011年 | 7篇 |
2010年 | 10篇 |
2009年 | 13篇 |
2008年 | 11篇 |
2007年 | 12篇 |
2006年 | 8篇 |
2005年 | 8篇 |
2004年 | 8篇 |
2003年 | 6篇 |
2002年 | 2篇 |
2001年 | 4篇 |
2000年 | 3篇 |
1999年 | 3篇 |
1998年 | 13篇 |
1997年 | 10篇 |
1996年 | 2篇 |
1995年 | 4篇 |
1994年 | 4篇 |
1993年 | 4篇 |
1992年 | 3篇 |
1991年 | 2篇 |
1990年 | 3篇 |
1989年 | 1篇 |
1987年 | 2篇 |
1986年 | 1篇 |
1985年 | 1篇 |
排序方式: 共有212条查询结果,搜索用时 15 毫秒
141.
300eV的低能氩离子刻蚀与SIMS技术相结合,研究了高深度分辨率杂质深度分布测定的可能性。采用石英晶体的频率变化与微量天平称重的方法对~(48)Ar~+离子注入的Si试样的刻蚀速率进行了校准。实验表明,离子刻蚀去层度的精度可以达12左右;经过~40)Ar~+离子注入的Si试样的刻蚀速率与未经~(40)Ar~+注入的Si试样有明显的差别。测定了300keV的~(40)Ar~+离子注入Si中的深度分布,测量结果与理论计算进行了对比。 相似文献
142.
143.
采用等离子束溅射轰击刻蚀和溴甲醇腐蚀对CdTe薄膜表面进行后处理.对比研究了2种腐蚀条件下CdTe薄膜的光谱特性.结果表明:等离子束溅射轰击刻蚀可以彻底清除CdTe薄膜表面的氧化层,刻蚀后的CdTe薄膜颗粒更为均匀致密,等离子体刻蚀与溴甲醇腐蚀相比,可以改善CdTe薄膜表面的粗糙度,增强薄膜的附着力,改善薄膜的性能. 相似文献
144.
MEMS中硅的深度湿法刻蚀研究 总被引:1,自引:0,他引:1
探讨用于MEMS硅湿法刻蚀的刻蚀液浓度、温度、添加剂种类和浓度对刻蚀速率及表面粗糙度的影响,优化得到最佳刻蚀条件,刻蚀速率较常用刻蚀条件时提高约3倍;用扫描电镜观察刻蚀后的表面形貌,结果显示优化刻蚀条件下硅表面粗糙度得到极大的改善.以优化的刻蚀条件进行深度刻蚀,蚀刻出深达236μm的窗口,图形完整,各向异性良好. 相似文献
145.
多孔硅微机械技术的薄膜量热传感器结构研究 总被引:1,自引:0,他引:1
多孔硅的形成和刻蚀技术是一项新型的表面微机械加工技术,我们以多孔硅为牺牲层,利用多孔硅的选择性生长机理,以及利用在高阻衬底上横向形成速率大于纵向形成速率的特点,得到了距衬底很深的微桥、微梁、微沟道等微结构,并设计研制了一种绝热式量热传感器。 相似文献
146.
为了明确泡沫在地层中的生成、运移等行为并考察其在油气田开发中的应用基础,通过利用微观刻蚀玻璃模型开展可视化实验的方法研究了泡沫在孔隙介质中的生成机制以及转向能力。结果表明:排驱时易发生颈部卡断,吸吮时易发生颈前卡断、直线卡断;气液混注时随含水饱和度变化,会使吸吮和排驱过程交替出现,而导致生泡方式发生改变;发现颈前卡断生成的泡沫直径略小于生泡孔隙喉道的直径,直线卡断生成的泡沫直径约为生泡孔隙喉道直径的2倍,颈部卡断生成的泡沫直径与孔隙体直径大致相当;泡沫在不同渗透率级差模型中运移转向能力差异较大,一般非均质地层注泡沫转向的渗透率级差极限为6:1,单纯注泡沫难以波及高渗透率级差模型中的低渗区域。可见上述研究结果能对泡沫在提高采收率中的应用提供一定的指导作用。 相似文献
147.
针对反应离子刻蚀工艺,研究其状态监测与识别.采用主元分析(PCA)方法对原始数据进行降维,提取出有效的特征子集,再应用SVM建立失效状态的诊断识别模型,分析模型参数对失效状态的分类识别效果.采用主元分析法进行数据降维,从多监控量中提取影响最大的特征子集,再基于支持向量机(SVM)算法建立了失效状态的诊断识别模型,并分析了模型参数对失效状态的分类识别效果.研究结果验证了基于SVM方法的有效性,表明该模型具有高效的模式识别能力,可应用于存在小样本问题的其他半导体工艺状态分类和识别中. 相似文献
148.
149.
150.
电子回旋共振(ECR)微波放电等离子体是当今大规模和超大规模集成电路制作中的高新技术.它具有大面积均匀,高密度,低电位的等离子体,是沉积各种薄膜和刻蚀的重要工具.本文简要评述了ECR等离子体在材料科学中进行沉积镀膜和刻蚀的情况,简介了ECR等离子体发生器的装置工作原理. 相似文献