压印光刻中高精度莫尔对准方法的研究

针对分步压印光刻工艺中多层套刻的高精度对准问题,提出一种应用斜纹结构光栅副实现x、y、θ三自由度自动对准的方法.光栅副分为4个区域,应用光电转换器阵列检测光栅副相对移动所引起的莫尔信号变化,通过电路系统处理可同时得到在平面x、y、θ三自由度的对准信号.驱动环节采用直线电机和压电驱动器作为宏微两级驱动,其分辨率分别为0.2μm和0.1nm,在激光干涉仪全程监测下,与控制系统一起构成闭环系统实现自动对准定位.实验结果表明,在多层压印光刻工艺中,实现了压印工作台步进精度小于10nm的高精度定位要求,使整个对准系统的套刻精度小于30nm.因此,应用这种莫尔对准方法可以获得较高的对准精度,同时能够满足压印100nm特征尺寸套刻精度的要求.     

基于微压印成形的三维微电子机械系统制造新工艺

针对目前微电子机械系统(MEMS)制造中存在的三维加工能力不足的问题,将压印光刻技术和分层制造原理相结合,研究了三维MEMS制造的新工艺.采用视频图像原理构建了多层压印的对正系统,对正精度达到2μm.通过降低黏度和固化收缩率,兼顾弹性和固化速度,开发了适用于微压印工艺的高分辨率抗蚀剂材料,并进行了匀胶、压印和脱模工艺的优化实验.通过原子力显微镜对压印结果进行了分析,分析结果表明,图形从模具到抗蚀剂的转移误差小于8%,具有制作复杂微结构的能力,同时也为MEMS的制作提供了一种高效低成本的新方法.     

塑料注射成型过程工艺参数设置专家系统

对专家系统和用于实现专家系统的Prolog语言及其编译环境Visual Prolog作了简述。并应用Prolog语言实现了注射成型过程工艺参数设置的专家系统ES-IMPPS（Injection Molding Process Parameters’Setting），并将此专家系统在Visual Prolog中运行，通过设计的实例表明：用Prolog语言编写的此专家系统，符合注塑过程工艺参数的设定要求，而且运行速度快，程序容易理解。     

大柳塔煤矿12305工作面覆岩活动规律的相似模拟

为了研究薄基岩浅埋煤层开采过程中覆岩活动规律,利用相似材料模型法,对大柳塔煤矿12305工作面进行了相似模拟实验,得出了薄基岩浅埋煤层开采过程中覆岩活动特点.结果表明,薄基岩浅埋煤层开采的覆岩活动规律与常规开采顶板活动规律存在根本区别,应该有其自身的开采理论指导现场生产.     

关于特征子空间的一个定理

设σ是数域P上的n维向量空间V的线性变换,λ是σ的特征值,证明了σ的特征子空间Vλ与基的取法无关.     

《内蒙古师范大学学报》(自然科学汉文版)主要文献计量指标评析

对《内蒙古师范大学学报》 （自然科学汉文版）1999-2003年的文献计量指标进行了统计和分析,并选取总被引频次、影响因子、即年指标、他引总引比四项指标与师范类高校学报进行了排序分析.结果表明,学报的各项指标比较稳定,并呈逐年上升趋势,但学报的整体水平不高,与许多同类期刊相比尚有较大差距.学报要改变办刊观念和办刊模式,突出个性和特色,提高学报的学术影响力.     

烧结法生产氧化铝生料浆的配料专家系统设计

基于烧结法生产氧化铝生料浆的配料机理和长期积累的专家经验知识,建立了生料浆质量预测模型,开发了适应于生料浆配料生产特点的专家优化配料系统.根据实际生产和配料机理,提出了产生式规则的知识表示形式,结合规则集分类原理,设计了生料浆配料的专家知识库.通过规则集之间的有知识搜索、规则集内部的前向推理、规则前提和结论之间的哈希算法的有机结合来实现推理机制,从而实现专家系统的优化配比计算.实际结果表明:该专家系统优化配比计算速度快、效率高,既提高了生料浆质量,又稳定了生产.     

抗日战争是对中国各党派的一次大检阅--兼谈抗日战争胜利的伟大意义

抗日战争时期,中国共产党站在民族解放斗争的前沿,指引着全民族抗战胜利,为新民主主义革命的胜利奠定了坚实的基础.纵观整个抗日战争时期,国民党消极抗日,致使国家政治、经济更加腐败落后.中间党派代表民族资产阶级、上层小资产阶级的利益,成为抗战中的一支重要力量.伟大的抗日战争,对于中国各党派是一次大检阅.它检阅了哪些党派代表人民,代表进步,哪个党派将最终赢得人民,赢得胜利.     

3,4-亚甲二氧基苯甲醛修饰壳聚糖的制备与表征

从内陆螯虾壳中提取甲壳素,对该生物质进行资源化处理得壳聚糖(CTS).微波条件下精制得到高反应活性壳聚糖,脱乙酰度和黏均相对分子质量分别大于84%和3×105.将苯甲醛衍生物作为侧基引入该生物高分子链,研究壳聚糖深度脱乙酰化和生成Schiff碱的反应条件.以精制CTS为原料,以侧基接枝率为指标设计正交试验,筛选出高接枝率3,4-亚甲二氧基苯甲醛(胡椒醛)修饰壳聚糖(Hel-CTS)--(1,4)-2-(3,4-亚甲二氧基-苯甲)-亚胺-2-脱氧-β-D-葡聚糖的合成条件为:反应温度40℃,CTS与胡椒醛质量比为1:2,pH值为6.0,合成时间10 h.对Hel-CTS的结构和性能利用红外光谱(FTIR)、热重分析(TG)和差示扫描量热(DSC)等手段进行了表征.以黏度法结合重量分析法,半定量估算出Hel-CTS的平均相对分子质量为4.97×105.     

多功能校内测量实验实习基地的设计

根据盐城工学院土木工程专业校内多功能测量实验实习教学基地设计的体会，介绍测量基地建设的目的、方法、实施步骤和功能。通过该测量基地设计和建立，获得了良好的实验实习效果，提高了测量实验实习教学质量。