用三光束干涉法测量薄膜厚度

本文用三光束干涉法非接触地测量了薄膜厚度.该方法把位于中间的零级光作为测试光束,位于两侧的±1级光作为参考光束,不但具有精度高的特点,而且稍作改进还能用于其它多种参数的测量.     

检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪

基于Mirau双光束干涉,研制了检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪.柯拉照明提供被测面均匀的照明,干涉成像系统是长工作距无限筒长干涉显微镜结构,由Mirau干涉物镜和镜筒透镜组成.物镜由光焦度较大的正光组和光焦度较小的负光组组成.轮廓仪的放大率为-10,数值孔径为0.3,工作距5mm,视场0.64×0.48mm2,中心遮拦0.129.相移器为电容式闭环控制的压电陶瓷传感器.通过6幅光纤连接器端面的干涉图,经6步相移法得到其表面形貌.实验结果表明,Mirau干涉轮廓仪的横向分辨率为0.875μm,垂直方向的测量范围为5.3μm,重复测量精度为1.7nm.     

开环旋转相位干涉仪DOA算法分析

为解决宽频带测角模糊,利用弹体旋转带动天线旋转式相位干涉仪,提出了基于开环旋转干涉仪测向方法,并分析了其解模糊原理.相比于闭环旋转干涉仪测向,有实现结构简单、覆盖更宽雷达重复频率范围等优点,仿真结果表明,提出的方法在解决测角模糊的同时,具有优良的测角精度.     

矿井下分布式光纤定位精度及感测距离研究

煤矿井下分布式光纤定位系统通常采用双Mach-Zehnder 干涉仪分布式光纤振动传感技术,针对该技术存在感测距离短、系统空间分辨率低等问题,采用两个分布反馈( DFB: Distributed Feedback) 激光束和密集波分复用( DWDM: Dense Wavelength Division Multiplexing) 的非对称双Mach-Zehnder 干涉仪的分布式光纤振动传感技术,通过奇异值分解( SVD: Singular Value Decomposition) 算法进行降噪处理,并提出基于SVD 的互相关时延算法。实验证明,该算法能有效提高定位精度和感测距离,当感测距离为61 km 时,定位误差为51． 2 m。当矿井灾难发生时,能对被困人员精准定位,保障了有效救援时间。     

超小型光纤导光干涉仪的研制

介绍了一种超小型光纤导光干涉仪，它利用光纤和自聚焦透镜的耦合来形成平行光路，利用半反和全反光学膜片分光。该干涉仪小巧，且灵敏度高，可用于透明气体和液体的折射率测量。     

微弱振动的光干涉测量方法

本文介绍一种采用光干涉，并运用策机辅助进行微弱振动体动态幅度测量的方法，给出了10^-6m量级振动的测试结果。     

倏逝波在锥形光纤折射率计中的传感作用

对锥形光纤模间干涉结构产生的倏逝波与模式有效折射率间的关系进行了理论计算与研究,并仿真得出随着外界折射率变化而移动的干涉光谱,以此在理论方面证明倏逝波的产生对提高波长解调型的锥形模间干涉折射率传感器的灵敏度起着至关重要的作用.基于倏逝波的吸收光谱法计算了锥形区域在不同轮廓线、不同锥区长度以及不同锥径时的倏逝波强度,对优化锥区形状提高折射率测量的灵敏度有所帮助.最后以拉锥的模间干涉光纤传感结构测量折射率的实验验证了理论计算的正确性.     

迈克尔逊干涉仪干涉机理的解析法与图解法

地对大学物理及物理实验教材中的不足，从波动理论出发，对迈克尔逊干涉仪产生各种干涉条纹的干涉机理用解析法和图解法进行分析并作比较。     

迈克尔逊干涉仪测波长实验中常见问题分析

分析了迈克尔逊干涉仪测波长实验中干涉条纹的调整，计数条纹和测量d值及仪器松动磨损等常见的几个问题，并对其产生原因进行了探讨，对提高学生的实验效率有所帮助。     

基于激光干涉仪的机床精度检测实验设计

针对引进的科研设备———RENISHAW ML10 GLOD激光干涉仪,进行适用于本科实验教学的创新实验设计。开发了基于激光干涉仪的创新实验———数控机床精度检测与误差补偿实验。结果表明,此类实验的开设不仅可以大大增强科研设备的利用率,而且对创新本科实验教学、提高学生专业技能有很大帮助。