Fabrication of solenoid-type microinductor with different magnetic core schemes by MEMS technique

0 IntroductionThere has been a great demand on micro DC/DCconverter for the applications of the portable electronicproducts such as mobile communication product CDMA(Code Division Multiple Access) ,portable notebookcom-puter ,microprocessor ,digital camcorder andso on.Mag-netic components such as inductors and transformers arethe essential components in constructingthe power supplytransformer ,filter , oscillator , amplifier and micro DC/DCconverter ,andthe miniaturization of inductor an…     

湿腐蚀法制备U形塑料光纤折射率传感器

为提升折射率测量灵敏度、方便测量,通过湿腐蚀法制备了高灵敏度的U形塑料光纤折射率传感器.从理论上分析了多模塑料光纤宏弯曲折射率传感器的原理,利用射线法对塑料光纤中传输光场进行近似,获得多模塑料光纤宏弯曲模式损耗的表达式.采用丙酮和甲醇混合溶液作为腐蚀剂,利用湿腐蚀法对塑料光纤进行处理,观察不同腐蚀剂浓度腐蚀后光纤表面形...     

硅基微电感的研究

阐述了一种在硅杯表面采用浓硼扩散区与镀金属膜形成的欧姆接触电极作为内引线的硅基电感的新制造方法,提出了在硅杯背面用激光器打孔以减薄衬底厚度,从而使电感的Q值得到提高的一种方案,并应用目前普遍采用的电感模型,利用Ansys有限元软件中的电磁分析模块模拟了电感几何参数与磁感应强度、电感值的关系。结果表明,该方法具有制造工艺简单、与IC工艺相兼容的优点,有广泛的应用领域。     

MEMS惯性高度尺测量精度分析

研究了基于微电子机械系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)的惯性导航系统的短时相对高程测量精度,设计了“惯性高度尺”算法,进行了桌面测高和楼层测高两个验证性实验。分析了不同运动条件和运动时间下“惯性高度尺”的测高精度。基于零速修正技术提出了一种分段测量的方法。实验结果表明,桌面测高可实现毫米级精度(相对误差0.17%),楼层测高可实现多层厘米级和单层毫米级测量精度(相对误差分别为0.22%,0.06%)。测量误差与载体的姿态动态和运动时长成正相关。实验验证了MEMS惯导用于高度测量具有较高可行性,稳定的运动条件和较快的测量时间能够提高测量精度。     

基于多尺度光流融合特征点视觉-惯性SLAM方法

为提高视觉-惯性导航系统在弱纹理环境下的鲁棒性和精度,结合特征点法精度高和光流法速度快的特点以及惯性信息,提出一种多尺度均匀化光流融合特征点法的视觉-惯性同时定位与地图(simultaneous localization and mapping, SLAM)构建方法。首先,改进快速特征点提取和描述(oriented fast and rotated brief, ORB)特征提取过程,采用多尺度网格化的方法提取ORB特征点并利用四叉树均匀分配特征点,提高特征分布离散性。其次,在帧间采用LK(Lucas and Kanade)光流法追踪特征点进行帧间的数据关联,在关键帧对特征点进行描述子的计算和匹配从而实现关键帧间的数据关联,保证算法速度的同时提高定位精度和鲁棒性。最后,基于光流法建立的数据关联得到的初始位姿为后端优化提供初始值,整合ORB特征点重投影误差、惯性测量单元(inertial measurement unit, IMU)预积分误差以及滑动窗口先验误差构建最小化目标函数采用滑动窗口非线性优化进行求解。实验表明,所提方法相比单目视觉惯性系统具有更高的定位精度和鲁棒性,定位精度平均...     

Navier—Stokes方程的近似惯性流形方法

本文给出了Navier-Stokes方程的一个近似惯性流形∑,证明了它的存在性和全局吸引子进入这个流形领域厚度的估计,同时用一个简单的近似惯性流形序列∑_j逼近∑,且进行了误差估计,对近似惯性流形逼近与通常Galerkin逼近的计算复杂性进行了比较。     

L—2型表观粘度函数快测仪的原理和设计

描述了一种新的L型表观粘度函数快测仪。它是在原L—1型的基础上经重要改进后完成的。它保留了原仪器的一个主要特点即仅用一次测试就能求得复盖一定范围的切变率下的非牛顿流体表观粘度;同时能在通常认为难以测量,却又十分重要的“低剪切” 段令人满意地工作。且所需样品少于2mL。     

POSFET压电传感器结构参数与特性的研究

本文分析了ＰＯＳＦＥＴ压电传感器的结构参数与特性。理论分析表明ＰＶＤＦ薄膜的声学灵敏度与膜的厚度和膜的弹性刚性系数成正比。实验结果显示，ＰＯＳＦＥＴ传感器的输出峰值随扩展栅面积的增加而增大，随沟道长度的减小而增大。ＰＯＳＦＥＴ传感器的灵敏度比之ＰＶＤＦ直接粘贴硅背衬传感结构提高了２０ｄＢ。     

阴离子聚合物制备及其在湿敏元件方面的应用

通过自由基溶液聚合制得丙烯酸（ＡＡ）－丙烯酸丁酯（ＢＡ共聚物（Ｐ（Ａ—ＢＡ）），利用ＬＩＯＨ溶液中和制得中和度为的％的阴离子聚合物（Ｐ（Ａ—ＢＡ—Ｌｉ））。用此离聚物为主要湿敏材料制作出具有良好耐水性的湿敏元件。当相对湿度（ＲＨ）大于４０％时，该元件阻抗的对数与相对湿度成线性关系；ＲＨ由４３％提高到９７％时，元件阻抗的变化值达３个数量级，吸湿响应时间≤１０秒。     

双筒流变仪中流体与内筒的惯性效应

当双筒流变仪的外筒以较高频率振摆时，即使被测的是牛顿流体，连接于内筒的扭丝所测出的力矩仍有相位滞后（“水的弹性分量困惑”），其原因是流体和内筒都有惯性。本文采用作者以前提出的化为常微分方程两点边值问题的新算法，对于流体与内筒的惯性效应做了详细的讨论。文中指出，只要设法减小内筒转动惯量和提高扭丝刚度，或者增大对内筒的空气阻尼，就可以避免在工作频率范围内发生共振现象。这时，可以不考虑内筒振摆而假设内筒静止，只考虑流体自身的惯性而使问题简化。