压印光刻中高精度莫尔对准方法的研究

针对分步压印光刻工艺中多层套刻的高精度对准问题,提出一种应用斜纹结构光栅副实现x、y、θ三自由度自动对准的方法.光栅副分为4个区域,应用光电转换器阵列检测光栅副相对移动所引起的莫尔信号变化,通过电路系统处理可同时得到在平面x、y、θ三自由度的对准信号.驱动环节采用直线电机和压电驱动器作为宏微两级驱动,其分辨率分别为0.2μm和0.1nm,在激光干涉仪全程监测下,与控制系统一起构成闭环系统实现自动对准定位.实验结果表明,在多层压印光刻工艺中,实现了压印工作台步进精度小于10nm的高精度定位要求,使整个对准系统的套刻精度小于30nm.因此,应用这种莫尔对准方法可以获得较高的对准精度,同时能够满足压印100nm特征尺寸套刻精度的要求.     

自主车辆视觉系统的摄像机动态自标定算法

为了解决自主车辆视觉传感器在姿态变化后摄像机旋转外参数的在线自标定问题,提出了一种利用道路图像消失点相对不变量的摄像机旋转外参数的动态自标定算法.它首先从汽车采集到的道路视频序列中实时分析道路消失点,然后依据中心极限定理并使用相应的统计量,动态地估计主消失点与消失线参数,最后利用小孔成像模型下的消失线与消失点方程,解析地求得对应于当前统计特征的摄像机外部参数动态解.实验结果表明,在摄像机进行姿态调整后,实验系统使用本算法可在不超过90帧有效图像样本的基础上,能对摄像机旋转外参数进行精确标定,使旋转外参数的绝对误差值收敛于0.001 rad的误差带之内.     

一种基于区域分割的多传感器图像融合方法

针对传统像素级图像融合方法割裂像素间联系的问题，提出一种基于区域分割的图像融合方法．在图像配准的基础上进行区域分割，提取显著性因子和可见性因子作为区域特征，自适应地确定融合权值以得到融合图像．该方法克服了传统像素级融合方法中融合图像模糊、对噪声敏感等不足，尤其适用于图像没有严格配准的应用场合．实验结果表明，与小波变换融合方法相比，均方根误差减小了33％～36％，灰度标准差提高了0．9％～53％，互信息提高了39％～42％，空间频率提高了0．3％～38％，客观评价准则与目视效果吻合良好．     

活性炭无纺布表面污染物的吸附特性研究

实验研究了活性炭无纺布表面CO2和挥发性有机化合物(VOCs)的吸附特性.研究结果表明:在低气流速度条件下,活性炭无纺布能够很好地吸附空气中的CO2,系统的能耗也低;环境温度对活性炭无纺布表面CO2吸附效率的影响不大,但低空气湿度有利于CO2的吸附;在实验条件下,活性炭无纺布表面VOCs的吸附效率与迎风气流中VOCs的体积分数无关,与污染源的种类有关;低气流速度有利于VOCs的吸附;虽然增加吸附层的层数既有利于活性炭无纺布表面的CO2吸附,也有利于VOCs吸附,但实验中当吸附层增加到3层以上时,吸附效率随吸附厚度的增加而提高的效果不再明显,而吸附系统的阻力却迅速增大.     

热挤压AZ91D镁合金的组织与力学性能

对直径φ50mm铸态AZ91D合金棒材在603K下进行单次热挤压，获得了直径φ14mm的棒材。用OM、SEM和TEM分析热挤压前后组织的变化，研究热挤压对其组织与性能的影响规律。结果表明，热挤压变形可以细化其微观组织，显著提高AZ91D合金的抗拉强度（σb、σ0.2）、伸长率（δ）及硬度（HB）。在此过程中合金α-Mg相有足够的独立滑移系可以启动，棱面滑移和基面滑移共同作用发生局部大变形，α-Mg沿挤压方向呈细条带状，β—Mg12，Al12相分布于α-Mg条带间。然而，经单次挤压不可能得到均匀的变形组织，从边缘到中心，组织渐变，边缘组织细小，心部组织粗大。     

投资决策中的利润质量分析

利润质量分析是投资者进行投资决策的重要环节。影响利润质量的因素有很多，确立应评价利润质量的主要指标，及各项定量评价指标的基本概念、计算公式、内容解释和指标的应用说明，结合定性分析为投资者正确评价利润质量，进行投资决策提供依据。     

论古代回坊形成的原因

回坊是回族社会一种独特的社区形态。总结古代回坊的发展历程，并对回坊形成的原因进行深入挖掘，认为回坊的形成是伊斯兰教自身的性质决定的，同时回坊的形成有其必要的物质基础和地域条件。     

惠民凹陷古近系碎屑岩储集体成因类型及特征分析

对惠民凹陷在古近系碎屑岩储集体的成因特征进行了分析研究.发现成因类型有:冲积扇、河流、近岸水下扇、扇三角洲、深水浊积扇、三角洲、三角洲前缘滑塌浊积扇以及滨浅湖滩坝.储层岩石类型有砾岩、含砾砂岩、中细砂岩及粉砂岩.不同成因类型的碎屑岩储集体成分成熟度和结构成熟度差异较大,三角洲河口坝及滨浅湖滩坝砂体成分成熟度和结构成熟度最高.不同成因类型储集体的物性特征不同,三角洲平原分支河道、(扇)三角洲前缘水下分流河道及河口坝砂体储集物性最好,其次为(扇)三角洲前缘席状砂及滨浅湖滩坝砂体,近岸水下扇和浊积扇砂体物性相对较差.     

2MgO·2B2O3·MgCl2·14H2O在H3BO3水溶液中相转化平衡溶液的拉曼光谱分析

采用拉曼光谱技术,从溶液结构方面研究了2MgO.2B2O3.MgCl2.14H2O在30℃下5种不同浓度硼酸水溶液中溶解及相转化平衡饱和水溶液中硼氧配阴离子的存在形式,给出了溶液中硼氧配阴离子的拉曼光谱峰归属.结果表明,饱和水溶液中硼氧配阴离子的存在形式分别为H3BO3、B(OH)4-、B3O3(OH)4-、B4O5(OH)42-和B6O7(OH)62-.该研究为2MgO.2B2O3.MgCl2.14H2O在不同浓度硼酸溶液中相转化机理提供了依据.     

基于 uClinux的usb主设备模块实现

介绍了从原理到软件编程,USB主设备模块的实现.拓展性地把USB主设备模块建立在嵌入式微处理器上,抛开了PC;在USB主设备上使用uClinux嵌入式操作系统,符合OTG技术和嵌入式设备的发展趋向.因此,项目具有积极的经济意义和先进性.