压印光刻中高精度莫尔对准方法的研究

针对分步压印光刻工艺中多层套刻的高精度对准问题,提出一种应用斜纹结构光栅副实现x、y、θ三自由度自动对准的方法.光栅副分为4个区域,应用光电转换器阵列检测光栅副相对移动所引起的莫尔信号变化,通过电路系统处理可同时得到在平面x、y、θ三自由度的对准信号.驱动环节采用直线电机和压电驱动器作为宏微两级驱动,其分辨率分别为0.2μm和0.1nm,在激光干涉仪全程监测下,与控制系统一起构成闭环系统实现自动对准定位.实验结果表明,在多层压印光刻工艺中,实现了压印工作台步进精度小于10nm的高精度定位要求,使整个对准系统的套刻精度小于30nm.因此,应用这种莫尔对准方法可以获得较高的对准精度,同时能够满足压印100nm特征尺寸套刻精度的要求.     

基于微压印成形的三维微电子机械系统制造新工艺

针对目前微电子机械系统(MEMS)制造中存在的三维加工能力不足的问题,将压印光刻技术和分层制造原理相结合,研究了三维MEMS制造的新工艺.采用视频图像原理构建了多层压印的对正系统,对正精度达到2μm.通过降低黏度和固化收缩率,兼顾弹性和固化速度,开发了适用于微压印工艺的高分辨率抗蚀剂材料,并进行了匀胶、压印和脱模工艺的优化实验.通过原子力显微镜对压印结果进行了分析,分析结果表明,图形从模具到抗蚀剂的转移误差小于8%,具有制作复杂微结构的能力,同时也为MEMS的制作提供了一种高效低成本的新方法.     

基于 uClinux的usb主设备模块实现

介绍了从原理到软件编程,USB主设备模块的实现.拓展性地把USB主设备模块建立在嵌入式微处理器上,抛开了PC;在USB主设备上使用uClinux嵌入式操作系统,符合OTG技术和嵌入式设备的发展趋向.因此,项目具有积极的经济意义和先进性.     

影响巷道顶板稳定的关键块体的受力分析

针对巷道开挖后,围岩体中成因各异、种类不同的弱面将巷道围岩体分割成不同几何形状、不同尺寸的块体,且部分块体暴露在巷道的临空面上,由于相互摩擦及挤压形成不稳定平衡。其中某关键块体的受力、结构形状以及裂隙弱面的强度性质决定该巷道顶板的变形及稳定性。针对该关键块体可能的组合运动趋势(滑动、倾倒),用矢量分析理论给予受力分析,给出了巷道稳定平衡的条件,为完善巷道支护提供了理论依据,并在实践中得到应用。     

太阳能LED路灯照明系统优化设计

在珠海完成国内第一个太阳能LED路灯示范工程的工作基础上,从路灯光源、控制电路、太阳电池组件最佳倾角确定、太阳电池组件和蓄电池容量确定等几个方面对太阳能路灯进行了设计优化,做到既能保证系统的稳定可靠运行,又能尽量减少系统规模和降低成本.结果表明采用LED作为路灯光源、直接耦合的方式的充放电控制器是太阳能路灯很好的选择,同时通过科学计算的方法对在珠海地区使用时太阳电池组件最佳倾角和组件和蓄电池容量进行了讨论.使用的方法和结论可以为的其他的太阳能路灯设计提供有力的帮助.     

溶胶凝胶法制备全丙基-β-CD气相色谱柱的涂渍机理初探

用溶胶凝胶法制备了全丙基-β-CD气相色谱柱,得到了和对应静态柱相当的柱效,并和静态法色谱柱做了对Grob试剂和某些苯系位置异构体分离性能方面的比较.结果显示,这两种方法制备的毛细管气相色谱柱有相似的分离性能.初步探索了用溶胶凝胶法涂渍非端羟基固定相气相色谱毛细管柱的机理,说明了溶胶凝胶前体所形成的三维网状结构对固定相有裹挟作用,这种裹挟作用是固定相涂渍成功的关键因素.     

人tumstatin基因的克隆、表达和抗体制备

应用PCR技术从人胎肺cDNA文库中扩增tumstatin基因编码序列,克隆至pET-3c载体构建非融合表达的重组质粒pET-3c-tum,并在大肠杆菌E.coli BL21(DE3)中获得高效表达.表达蛋白经SDS-聚丙烯酰胺凝胶电泳(SDS-PAGE)分离、切胶回收后免疫新西兰大白兔,获得ELISA效价高达1∶1 000的特异性兔抗人tumstatin抗血清.     

常州地区中小企业融资现状分析及对策

中小企业已成为中国经济发展的生力军,它的发展壮大不可忽视,但在其发展过程中必须有足够的资金作保证,因此其融资问题已受到全社会的共同关注.通过对常州地区30家中小企业融资情况进行分析,揭示出目前中小企业融资的新特点及存在的问题,并提出相应的对策与建议.     

前列腺素E1的临床应用进展

前列腺素E1(PGE1)是人体内一种重要的内源性生理活性物质，具有多种生理、药理作用。本文就近年来前列腺素E1的临床应用情况进行全面综述，以促进其更加广泛的应用。     

情商与排球运动员的心理素质训练

对情商的基本内涵，排球运动与情商的关系，情商水平较低的运动员在比赛中不良心理变化的表现，以及对提高排球运动员情商的几种途径等进行了探讨。