压印光刻中高精度莫尔对准方法的研究

针对分步压印光刻工艺中多层套刻的高精度对准问题,提出一种应用斜纹结构光栅副实现x、y、θ三自由度自动对准的方法.光栅副分为4个区域,应用光电转换器阵列检测光栅副相对移动所引起的莫尔信号变化,通过电路系统处理可同时得到在平面x、y、θ三自由度的对准信号.驱动环节采用直线电机和压电驱动器作为宏微两级驱动,其分辨率分别为0.2μm和0.1nm,在激光干涉仪全程监测下,与控制系统一起构成闭环系统实现自动对准定位.实验结果表明,在多层压印光刻工艺中,实现了压印工作台步进精度小于10nm的高精度定位要求,使整个对准系统的套刻精度小于30nm.因此,应用这种莫尔对准方法可以获得较高的对准精度,同时能够满足压印100nm特征尺寸套刻精度的要求.     

基于微压印成形的三维微电子机械系统制造新工艺

针对目前微电子机械系统(MEMS)制造中存在的三维加工能力不足的问题,将压印光刻技术和分层制造原理相结合,研究了三维MEMS制造的新工艺.采用视频图像原理构建了多层压印的对正系统,对正精度达到2μm.通过降低黏度和固化收缩率,兼顾弹性和固化速度,开发了适用于微压印工艺的高分辨率抗蚀剂材料,并进行了匀胶、压印和脱模工艺的优化实验.通过原子力显微镜对压印结果进行了分析,分析结果表明,图形从模具到抗蚀剂的转移误差小于8%,具有制作复杂微结构的能力,同时也为MEMS的制作提供了一种高效低成本的新方法.     

基于 uClinux的usb主设备模块实现

介绍了从原理到软件编程,USB主设备模块的实现.拓展性地把USB主设备模块建立在嵌入式微处理器上,抛开了PC;在USB主设备上使用uClinux嵌入式操作系统,符合OTG技术和嵌入式设备的发展趋向.因此,项目具有积极的经济意义和先进性.     

复杂动态背景中的人脸检测

针对复杂动态背景中的人脸检测问题，提出了一种基于差影运算和肤色识别的检测算法。该算法首先通过改进的差影运算初步确定人脸区域，然后建立一个人脸肤色模型进一步进行肤色匹配．从而实现由粗到细的人脸检测。实验证明，该算法可以适应不同的光照环境，不受人脸大小和朝向的限制。其运算速度和精度均达到实用要求。     

TiFe合金电子结构与储氢性能的相关性研究

利用电荷自洽离散变分(SCC—DV—Xa)电子结构计算方法，计算TiFe储氢合金及其氢化物的电子结构，分析电子结构与储氢性能的相关性。结果表明，在TiFe合金氢化物中，H原子进入八面体晶胞中，H原子与Fe原子间成键作用明显比H原子与Ti原子间的成键作用强，使晶胞体积主要沿晶格的[110]方向发生膨胀；TiFe合金八面体晶胞中Ti原子与Fe原子间形成离域键，在吸氢后成键作用有所增强，使合金吸氢后的体积膨胀率较小，这是其反复吸放氢过程不容易粉化的原因之一。     

花生四烯酸产生菌的选育

通过对深黄被孢霉AS3．2793和MUI0310进行紫外线和氯化锂复合诱变、以及硫酸二乙酯和氯化锂复合诱变，涂布在诱变培养基上，对分离出的突变株进行摇瓶发酵初筛，从中得到一支产花生四烯酸的菌株。该菌株在摇瓶产脂培养基中发酵8天：生物量达16．57g／l，油脂含量达49．10％，油脂得率达8．14g／l，油脂中花生四烯酸的含量为0．9％．     

太阳能LED路灯照明系统优化设计

在珠海完成国内第一个太阳能LED路灯示范工程的工作基础上,从路灯光源、控制电路、太阳电池组件最佳倾角确定、太阳电池组件和蓄电池容量确定等几个方面对太阳能路灯进行了设计优化,做到既能保证系统的稳定可靠运行,又能尽量减少系统规模和降低成本.结果表明采用LED作为路灯光源、直接耦合的方式的充放电控制器是太阳能路灯很好的选择,同时通过科学计算的方法对在珠海地区使用时太阳电池组件最佳倾角和组件和蓄电池容量进行了讨论.使用的方法和结论可以为的其他的太阳能路灯设计提供有力的帮助.     

开放式架构的设备故障虚拟诊断中心的实现

针对远程诊断中缺乏会诊管理和协调机制的问题，提出了基于Internet，开放式架构的虚拟诊断中心的概念，设计了虚拟诊断中心的结构方案和专家协作机制．围绕被诊断对象构建了故障案例、基于ActiveX的分析工具和多媒体会议为一体的会诊环境，提高了会诊效率，并通过WebService接口实现了远程专家设备状态数据和案例的共享，支持了专家的协作研究工作．同时，通过采用设备信息管理开放系统联盟提出的机械信息数据库结构，克服了以往会诊系统只针对特定企业监测系统的缺点，并利用SQLServer。的推订阅技术上传企业Intranet，设备数据库的状态数据，保障了企业设备状态数据库的安全性．该诊断中心已在武钢大型轧钢厂加热风机、西安交通大学检测所的转子实验台上进行了初步应用，结果表明其系统结构合理，运行稳定，使用方便．     

最优功率分配空时分组码

空时分组码作为发射分集的一种重要技术已经受到广泛的关注和研究。提出一种简单的适用于空时分组码的功率分配方法，分析了提出的功率分配方法对空时分组码性能的作用，同时给出了存在信道估计误差时功率分配对系统性能的影响。     

ERP系统的演变

简要阐述了ERP系统的发展历程 ,并从多个层次定义了ERP ,总结了ERP系统的特点 ,提出了在新形势下ERP产品的特点及其功能扩展。