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511.
讨论了一种在硅片上进行无抗蚀膜光化学蚀刻的方法,使用过氧化氢和氟化氢混合水溶液作为化学媒质,分别使用193nm准分子激光和266nm四倍频固体Nd︰YAG激光作为光源.实验结果显示,可以不需要任何抗蚀膜,直接在硅表面进行图案蚀刻.对于193nm波长,在H2O2/HF质量比为1.3时,得到最佳蚀刻深度.在29mJ·cm~(-2)能量密度和10000个脉冲照射下,得到210nm的蚀刻深度.在相同条件下,使用H2O2与HF混合液时的蚀刻深度大约是使用H2O与HF混合液时的4倍.对于266nm波长,在H2O2/HF 质量比为2时, 得到最佳蚀刻深度. 在12mJ·cm~(-2)能量密度和30000个脉冲照射下,得到420nm的蚀刻深度. 相似文献
512.
近年来,随着我国经济的飞速发展,进一步推动了水利事业的建设进程,各类水利工程项目随之不断增多.在水利工程建设过程中,施工管理是一项较为重要的工作,其不但关系到施工质量和进度,而且还与安全密切相关.然而,由于受各方面因素的影响,致使施工管理中存在诸多问题,这在一定程度上影响工程的顺利进行.为此,必须采取有效的对策,解决水利工程施工管理中的各种问题.基于此点,本文就水利工程施工管理现状及对策进行浅谈. 相似文献
513.
毛军发 《科技导报(北京)》2018,36(21):1-1
射频电子技术是无线通信、物联网、雷达导航等应用领域的核心技术。以Ⅲ-V族为代表的化合物半导体电路由于优异的材料与器件高频性能,很适合射频应用,但其集成度和复杂功能等性能不足,成本高。硅基工艺电路虽然集成度大、成本低,但噪声、功率、动态范围等性能不足,并且摩尔定律已面临极限。 相似文献
514.
515.
针对海量医疗文档数据中巨大潜在价值难以有效挖掘的现状,构建了基于NoSQL和MapReduce的存储与挖掘系统MSPM.通过以键值对形式存储,使复杂异构的医疗文档数据归结为统一的且适于被经典Apriori算法利用的事务数据格式,并通过挖掘MapReduce过程化,一次性全局扫描和兴趣集规约计数等优化策略,有效解决了Apriori算法在医疗大数据应用中开销大、执行速度慢和有效性差的问题. 相似文献
516.
以防护工程中分配层的设计为研究对象,总结分析了分配层的研究现状以及存在的问题,认为理想的分配层应满足安全可靠、经济合理、工艺可行、结构和材料可靠等条件,应具备足够的抗静压强度和一定的抗冲击载荷强度,能够最大程度地削弱入射应力波强度并充分吸收爆炸产生的能量,并且具备抵御二次或多次爆炸冲击的功能。对今后分配层设计中亟待解决的问题及其发展趋势进行了初步探讨,研究表明,今后一段时间内分配层的材料还是以混凝土、普通砂土等为主,分配层结构应采用分层结构和含空壳结构相结合的结构。研究结果为今后防护工程中分配层的研究和设计提供一定的参考。 相似文献
517.
518.
519.
在盐湖轻盐渍土现场暴露试验和试验室盐湖卤水干湿循环试验中,采取分层钻孔取样和化学分析方法,应用氯离子三维扩散理论,研究普通混凝土、高强混凝土和高性能混凝土的Cl-扩散系数Dt的变化规律。研究结果表明:混凝土的Cl-扩散系数随着暴露时间的增加而降低,混凝土的抗C1-扩散能力由大至小为高性能混凝土、高强混凝土、普通混凝土;Cl-扩散系数Dt随着水灰比的变小而变小,矿物掺合料(FA,SF和SL)可以降低Cl-扩散系数。 相似文献
520.
结合现有的冻融破坏理论,研究了以乙二醇为主要成份的飞机除冰液作用下普通混凝土冻融损伤失效规律与特点.采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和X射线能量色散谱仪,进行试件冻融后的物相组成、微观结构变化以及微区元素分析.实验结果表明:低质量分数乙二醇对混凝土抗冻剥蚀性比水严重,高质量分数乙二醇对混凝土的冻融破坏比水轻微.飞机除冰液质量分数越低,对混凝土的冻融破坏作用越严重;低质量分数乙二醇对普通混凝土的冻融破坏以表面剥落破坏为主,质量损失首先达到破坏标准.高质量分数乙二醇对普通混凝土的冻融破坏以相对动弹性模量首先达到破坏标准,主要表现为端部的严重冻疏.在乙二醇飞机除冰液冻融过程中普通混凝土内没有新物质生成,水化硅酸钙凝胶与氢氧化钙晶体未发生变化.普通混凝土在乙二醇飞机除冰液中的冻融破坏机理与水中一样,以结冰压破坏为主. 相似文献