等离子体刻蚀中边缘离子轨迹的控制与优化

由于常规等离子体刻蚀系统在晶圆边缘处的阻抗与晶圆中心处的阻抗不一致, 使离子在晶圆边缘处的运动轨迹发生偏移, 很难满足越来越高的刻蚀工艺均匀性及深宽比的要求。本文提出一种通过调整晶圆边缘阻抗进行边缘离子运动方向优化的方法, 可以连续实时地调整边缘离子的运动轨迹, 实现对边缘离子运动方向的控制。研究结果表明, 离子的运动方向可以被优化为垂直于晶圆表面, 从而能获得良好的刻蚀速率均匀性及垂直的刻蚀形貌。     

盐度对水培海马齿生长和生理生化因子的影响

通过水培实验模拟生态浮床,研究海马齿(Sesuvium portulacastrum)在不同盐度条件下的生长及生理生化响应特征,探讨海马齿盐度适应性和海马齿生态浮床修复技术推广的适宜盐度范围.结果表明:在中、低盐度(0~20)条件下,海马齿生长几乎不受影响,而在高盐度(25~35)水体中,其生长受到明显胁迫,其中最高盐度(35)处理组中部分海马齿茎节出现腐烂溃败的现象,苗种成活率下降;新根数为低盐度(0~10)处理组中盐度(15和20)处理组高盐度(25~35)处理组,且高盐度处理组新根呈现粗、短特征;培养40d后,海马齿植株鲜质量、干质量、相对生长量、水分含量、根系活力和根质量随盐度升高均呈现先上升后下降的趋势,各指标最大值均落在盐度5~15范围内,其中根质量和根系活力的最大值均出现在盐度15处理组,表明适当的盐度可以促进水培海马齿的根系发育;除可溶性糖外,海马齿叶片中丙二醛和叶绿素含量受盐度变化的影响较小,不同盐度组间无显著差异(p0.05),暗示海马齿可利用渗透压调节机制抵抗环境盐胁迫,以保证细胞内其他生理生化指标维持较稳定的状态.综合比较可初步确定海马齿的适宜生长盐度范围为0~15.     

航空集群混合多层式联盟组建方法

通过航空集群混合多层式交互网络结构,充分考虑实际应用中连续动态、多任务、多目标的作战背景,有效解决了经典合同网协议中协商信息量过大,无法求得全局最优解的问题.改进经典合同网招投标过程,优化联盟组建过程实现对战场态势变化的快速响应.仿真结果表明,该方法能够保证航空集群以较少的通信量完成多任务、多目标的动态联盟组建.     

基于BP神经网络算法的Filtered-OFDM系统的信道估计算法研究

Filtered-OFDM波形是满足5G网络要求的重要候选波形之一,而信道估计的准确性一直以来是现代通信系统中非常关键的技术指标.为了提高5G网络信道估计的准确性,将一种BP神经网络信道估计算法应用于Filtered-OFDM系统中.将少量的参考信号输入神经网络进行训练,使其适应信道的变化,再将接收信号输入神经网络估计整个信道的频率响应.经过算法研究和系统仿真发现,与传统的LS算法相比,BP神经网络算法可以有效降低系统的误码率(BER).同时,从系统复杂度上考虑,BP神经网络算法通过一次神经网络训练操作,就可有效估计出大量符号的信道信息,是一种复杂度适中的算法.     

中尺度天气模式在龙芯通用CPU平台的移植和应用

龙芯是中国科学院计算技术研究所自主研发的通用中央处理器(central processing unit,CPU),采用MIPS精简指令集构架.数值天气预报领域是目前高性能计算应用的重要领域之一,本研究选取广泛使用的中尺度气象模式MM5开展龙芯平台天气预报系统研发,在龙芯3A平台成功移植完成MM5模式所依赖的MPICH等各类软件库,构建MM5模式运行的龙芯版软件环境.在此基础上,实现MM5模式下垫面处理模块TERRAIN、水平空间插值模块REGRID、垂直插值模块INTERPF以及MM5模式主模块在龙芯平台的编译移植,并实现MM5模式主模块在龙芯3A平台的并行运行.基于以北京为核心区域的嵌套模拟测试表明,运用单个龙芯3A节点模拟48h情景需要耗费大约50h,未来随着龙芯计算节点增加计算耗时将随之降低,将有望在龙芯计算平台实现中尺度气象模式的预报模拟.本研究同时完成格点分析显示系统(grid analysis and display system,GrADS)和三维可视化软件Vis5D在龙芯平台的编译移植,并以此构建中尺度气象模式预报系统展示子系统,实现龙芯平台中尺度气象模式模拟所需要的全生态移植与应用.