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971.
化学机械抛光中抛光垫作用分析 总被引:1,自引:0,他引:1
化学机械抛光(chemical mechanical polishing/planarization,CMP)能够提供高级别的整体平面度和局部平面度而成为集成电路(integrated circuit,IC)中起重要作用的一门技术.抛光垫是CMP性能的主要影响因素.这里建立了一个初步的二维流动模型以考虑抛光垫的弹性、孔隙参数、粗糙度以及晶片形状等因素对抛光液流动性能的影响,并通过数值模拟得出了它们对压力分布和膜厚等的作用.结果表明:由于抛光垫的变形和多孔性,承载能力将有所下降,膜厚增大,从而有利于抛光液中粒子和磨屑的带出.晶片表面曲率的变化对压力和膜厚的作用也很明显,全膜条件粗糙度的存在将引起流体压力的波动.研究为设计CMP中合适的抛光垫参数提供了初步的理论依据. 相似文献
972.
中国煤炭政策变迁与煤炭需求:1979-2005 总被引:1,自引:0,他引:1
1979—2005年中国煤炭需求增长的过程,伴随着煤炭政策的变迁。运用单位根、协整检验、误差修正模型(ECM)、Chow检验等实证方法分析了1979—2005年煤炭政策与煤炭需求的关系。结果表明,我国煤炭需求受消费导向政策、煤炭价格政策、产业结构调整政策和提高能源利用效率政策等的影响,其中产业结构变动、能源效率改进降低了煤炭消耗。1998年前后,中国煤炭需求函数发生显著变化,煤炭价格政策逐渐发挥作用,同时GDP增长比以前更大程度上刺激了煤炭需求的增长。 相似文献
973.
运用受弯构件全过程数值分析计算程序,在预应力混凝土空心板截面尺寸及荷载形式相同的情况下,对预应力混凝土空心板进行受力全过程的数值分析,即采用计算机模拟试验的方法,探讨了跨高比对中强螺旋肋钢丝预应力混凝土空心板延性影响的总体规律. 相似文献
974.
认知科学是人类认识自身和改善自身生活的基础学科之一;文化的多样性是人类文明进程的基本特征;人的认知受文化多样性的影响。鉴于此,浙江大学语言与认知中心(CSLC)于2007年5月28-31日举办了首届“认知与文化研究”国际会议。45位与会者来自于世界上十多个不同的国家和地区。 相似文献
975.
采用粉末冶金工艺分别制备含还原铁粉、泡沫纤维铁粉和铁合金粉的铜基摩擦材料,研究了铁粉种类对摩擦材料摩擦磨损性能的影响.当摩擦转速从3000 r·min-1提升至6200 r·min-1,用还原铁粉制备的样品,其摩擦因数随速度的升高出现严重衰退;含泡沫纤维铁粉的样品具有稳定的摩擦因数,试验范围内其波动值不超过0.024,但是磨损严重;采用铁镍合金粉制备的样品可有效减缓高速阶段摩擦因数的衰退,高速下摩擦因数波动低于0.027.以铁铬合金粉制备的样品,其磨耗随摩擦速度的增加几乎不发生变化,抗磨损能力最佳. 相似文献
976.
使用Hassard的规范形方法,研究了具有限时滞的扰动Van der pol方程在扰动频率与Hopf分支固有频率为二阶次调和共振的情形下解的存在性,表明了在某些参数区域中,系统存在次调和解和拟周期解. 相似文献
977.
温州行政审批制度改革始于2000年,取得了巨大成效,也存在一定问题。未来一段时间内,深化行政审批制度改革的优先路径是加强行政审批事项简化的顶层设计、完善行政审批权力监督机制以及优化行政审批流程等。 相似文献
978.
以花生苗为原料,通过正交实验法,确定花生苗中水溶性膳食纤维的最佳提取工艺条件为:pH=6、温度60℃、提取液用量15mL/g、时间20min.此条件下水溶性膳食纤维提取率为4.97%.同时用化学法、酶法、酶法-9化学法结合法分别提取花生苗水不溶性膳食纤维,通过对3种方法得到的水不溶性膳食纤维进行分析比较,酶法-9化学法结合法得到的水不溶性膳食纤维的持水力和膨胀力分别2.624g·g^-1和1.425mL·g^-1. 相似文献
979.
针对考虑碳约束条件下三级系统生产-库存控制问题,采用改进的EOQ方法,研究了多供应商、单制造商、多零售商构成的三级系统的生产能力与订货问题.分别建立了碳约束条件下三级生产-库存系统分散与集中决策模型和制造商利润补偿契约模型,并采用启发式算法对模型进行求解,计算实验与分析结果表明,制造商集中决策时,系统各指标更优,碳价格变动对系统影响更显著,交易机制对于减排控制更有效,验证了模型的有效性. 相似文献
980.