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针对化学机械抛光中抛光液的环境污染,提出一种基于金属电化学腐蚀的单晶SiC化学机械抛光方法. 通过腐蚀实验和摩擦磨损实验,研究了电化学腐蚀单晶SiC的Si面腐蚀性能和磨损性能. 通过对比Al、Cu、Fe金属在Na2SO4电解质溶液中对Si面的腐蚀性能,发现Al在Si面产生明显的腐蚀层,EDS和XPS检测证实该腐蚀产物为SiO2. 采用摩擦磨损实验研究溶液组分对SiC的Si面磨损影响规律. 结果表明,提高Na2SO4电解质溶液浓度能获得更大的磨损量,当Na2SO4电解质溶液浓度为1.00 mol/L时,得到最大为7.19 μm2的磨损量;在酸性的金属电化学腐蚀溶液中,Si面具有更好的材料去除性能,在pH=3时磨损量达到11.97 μm2. 单晶SiC的金属电化学腐蚀材料去除机制为阴极的Al金属发生电偶腐蚀反应产生腐蚀电流,促使阳极SiC表面氧化生成SiO2氧化层,进而去除材料. 相似文献
323.
VUMOSFET是一种新型功率器件,它一个很重要的优点是它特有的沟槽结构减小了器件的寄生电容,而寄生电容的充放电过程是限制VUMOSFET开关速度的主要因素,本文剖析了VUMOSFET主要寄生电容的结构并给出计算公式,通过公式可以定量的减小寄生电容,从而降低开关时间,减少功率损耗,对设计具有指导作用. 相似文献
324.
325.
当前,机电一体化技术之一的机器人,作为工厂生产自动化的重要手段,正在多方面积累成功的实例。然而,人们期望机器人能更加积极地出现在我们人类能生活的环境里,完成人所能做的各种工作,还能参与保安、防灾工作;人们还期望机器人能活跃在人类不能生活的环境中——如原子反应堆内或宇宙空间那样的极端环境中工作。要使机器人积极地适应各类不同的环境,就要增强其机能,但目前尚存在严峻的问题,有待于今后通过技术进步加以解决。 相似文献
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本文简要介绍了双栅MOSFET工作原理和物理模型。着重说明了双栅MOSFET在各种工作状态下的源——漏输出特性以及漏电导和跨导特性。在这项工作中,用来测试的双栅晶体管是采用n沟单层铝栅工艺制造的。 相似文献
328.
<正> 八月六日,新乡卷烟厂研制的新型香烟“复方怀深疗效烟”在郑州通过省级鉴定。随着科学的发展,人们对吸烟与健康越来越关心。如何寓药物于香烟,既抑制烟的毒害,又为患有疾病而又戒不了烟的人们带来福音,是摆在卷烟工作者面前的新的重大课题。研制疗效烟,不仅是提高企业社会效益的重要途径,也是造福人类的当务之急。烟剂作为预防和治疗疾病的一种方法,古今中外均有尝试和借鉴。我国唐代医学家 相似文献
329.
研究了不同pH值下大豆分离蛋白的Zeta电位、超速离心电泳、溶解性、荧光光谱及二级结构的变化及其规律,并进一步探讨了酸性条件下大豆分离蛋白亚基解离的机理.结果表明:酸性条件下大豆分离蛋白的亚基解离主要是由分子间静电斥力导致的,而且大豆球蛋白的解离程度远大于β-大豆伴球蛋白;溶液pH值在2.0 ~3.0之间时,Zeta电... 相似文献
330.
陆家源 《玉林师范学院学报》2011,32(1):152-155
自从中共中央、国务院发出《关于进一步加强和改进大学生思想政治教育的意见》和《教育部关于加强高等学校辅导员、班主任队伍建设的意见》后,高校辅导员专业化发展成为高校思想政治教育发展中的重大课题。高校辅导员专业化发展,离不开本学科文献信息的支撑,充分利用图书馆资源,构建大学生思想教育特色馆藏,既是新时期图书馆工作的开拓,又对高校辅导员专业化发展具有重要的推进意义。 相似文献