创新的PVD实时在线工艺检测系统RGA在IC制造品质改进上的应用

近年来，残留气体质谱分析权（RGA）因其在残留气体和反应腔真空条件检测方面的卓越表现而被广泛应用于物理气相沉积（PVD）工艺中。本文提出了一种先进的实时监控系统，它整合RGA和PVD生产设备来实现完全的自动反馈控制和偏移预防功能。此外，本文还总结了优化的热铝工艺在良率和产能上的改进。     

反相高聚物色谱柱对土霉素及有关物质的检测

本文采用MKF-RP聚合物型色谱柱检测土霉素以及相关物质,考察了叔丁醇的浓度、温度、流动相pH值以及离子对试剂的浓度等因素的影响,并进行了分析讨论。     

降低晶圆粘片率提高平均故障间隔

在半导体制造工艺中．铝因其低电阻率以及与硅和硅片制造工艺的兼容性而被作为互连材料广泛应用。在生产过程中．晶圆粘片现象是影响平均故障间隔（MTBF）的一个主要问题。因为在强直流等离子体的作用下，晶圆很容易粘在工艺腔中的零部件上，从而导致产品良率降低甚至报废。本文对造成晶圆粘片的各种因素进行研究和分析，通过改进硬件，降低了晶圆粘片的发生率，进而提高了平均故障间隔。     

非均匀网格上扩散方程的一种高精度差分方法

　Based on the previous works of the second author,a kind of finite difference scheme with third-order accuracy for the homogeneous diffusion equation on non-uniform grid is presented.The proposed scheme is unconditionally stable.