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采用射频共溅射复合靶(Si+Ge+石墨C)技术制备Si1-x-yGexCy三元合金薄膜,Si,Ge和C的含量用其靶的相对面积来表示,对样品的后退火处理是在N2气保护下恒温30min后自然降温到室温。通过IR,Raman的XPS的测量结果表明,所制备的薄膜中含有Si,Ge,C3种元素,有较明显的Si-C,Si-Ge,Ge-C键合。通过电阻率-温度谱ρ-T的测量研究薄膜的电学性能,测量了不同C含量和不 相似文献
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埋入SiO2膜中的微晶Ge的室温可见光致发光①王印月杨映虎郭永平②陈光华(兰州大学物理系,兰州730000)甘润今(北京机械工业学院基础部,北京100085)可见发光器件在大屏幕显示和光电子学中是十分重要的,这些发光器件主要是用工艺复杂、价格较贵的... 相似文献
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2005年7月,笔者参加了由新加坡国家材料研究协会发起,由新加坡国立大学、南洋理工大学、新加坡材料研究与工程学会联合承办的2005年第3届材料和先进技术国际会议(ICMAT2005)及2005年第9届先进材料国际会议(ICAM2005),ICMAT2005及ICAM2005于7月3~8日在新加坡新达城国际会议与展览中心联合举行,会议主席是新加坡国立大学物理系的B.V.R.Chowdari教授。 相似文献
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用光吸收谱和电导率测量较全面地研究了射频反应溅射淀积的a-Ge:H薄膜的电学性质:研究了射频功率和退火温度对a-Ge:H膜电学性质的影响.所得结果为a-Ge:H的应用提供了一定的依据。 相似文献
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本文研究了通入(CF_4+O_2)混合气体对 GD—a—SiC∶H 膜的等离子刻蚀.通过测量混合气体中 O_2的比例对刻蚀速率的影响,得到 O_2气比例为76%时最大刻蚀速率大约是1500(?)/分. 相似文献
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本文对 GD—a—SiC∶H SiO_2绝缘栅场效应管进行了研制,并对 GD—a—Si(0.8)C_(0.2)∶HMOSFET 特性进行了测量研究. 相似文献
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一种新的非晶钝化膜a—Si_xC_(1-x)∶H膜 总被引:2,自引:1,他引:1
本文介绍了一种新的钝化膜——a-Si_xC_(1-x)∶H薄膜在硅器件表面上的应用,实验结果表明:这种膜的钝化效果和a—Si∶H类似,在某些方面更好些,文中还对这种膜的钝化机理作了初步探讨。 相似文献
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用场效应法研究a-Si_xC_(1-x):H薄膜的隙态密度 总被引:1,自引:0,他引:1
考虑n阶常系数线性方程组其中y∈R~m,z∈R~p,m+p=n,T、A、B、C、D是常数矩阵。方程组(1)对变元y的渐近稳定性除可从直接求解进行判别外,目前已有苏联学者发表的线性变换方法。我们从分析矩阵T与D的关系得到以下结 相似文献