激光诱发荧光技术及其应用

自从1960年第一台激光器问世以来,激光技术发展十分迅速,其中之一就是随着可调谐染料激光器的出现而发展起来的激光诱发荧光(laser inducedfluorescence,以下简称LIF)技术. 所谓LIF方法,就是用波长和我们所要探测的样品(分子或原子)的吸收线相匹配的激光,去辐照样品,使样品共振吸收激光光子而处于激发态,并发出荧光辐射,如图1所示.然后用滤波器或单色仪加上     

大面积低能电子束快速退火在4ETPM电路制作中的应用

在制造VLSI集成电路中,用快速的束退火技术代替常规的高温退火可以保证晶格损伤的恢复,而且杂质再分布大大减小.从而满足浅结和速度方面的要求,这种束退火技术日益为人们所重视.例如快速的电子束对VLSIMOS器件的快速退火;利用多次扫描电子束对As~+注入n-沟MOS器件的源漏的快速退火等.本文描述了用一种新型的低能大面积冷阴极电子束的退火技术,并在4ETPM-LSTL(低功能肖特基电路)制作中的应用.