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对亚波长结构抗反射表面的设计原理和设计方法进行了较详细的论述,基于等效媒质近似理论,给出了一维光栅结构的等效折射率,描述了二维对称结构的一维近似分析方法及其等效折射率估算方法,为得到大的特征尺寸,提出了基脊和隙空的混合设计概念。 相似文献
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微光学阵列元件离子束刻蚀制作的分析与讨论 总被引:3,自引:2,他引:3
阐述了利用离子束刻蚀技术制作微光学阵列元件的工艺条件,研究和实验结果表明,通过光刻热熔法制作的光致抗蚀剂掩模图形经具有不同能量的离子束刻蚀后可以有效地现役中衬底材料上所作的选择性转移,所作的理论分析结果为非球面微光学阵列元件的制作提供了一条可行的技术途径。 相似文献
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用于强功率半导体激光器的石英柱微透镜阵列 总被引:1,自引:0,他引:1
采用光刻热熔法及离子束溅射刻蚀制作面阵石英柱微透镜阵列,表面探针和扫描电子显微镜的测试表明,在不同的工艺条件下制成的柱微透镜的表面轮廓具有明显的差异,给出了描述柱微透镜制作 过程中的几个重要参量的拟合关系式。 相似文献
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阐述了利用离子束刻蚀技术制作微光学阵列元件的工艺条件.研究和实验结果表明,通过光刻热熔法制作的光致抗蚀剂掩模图形经具有不同能量的离子束刻蚀后可以有效地实现向衬底材料上所作的选择性转移,所作的理论分析结果为非球面微光学阵列元件的制作提供了一条可行的技术途径. 相似文献
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针对用常规光刻热熔法制作折射型微透镜阵列的过程中,临界角效应严重制约了长焦距微透镜阵列制作问题,提出了曲率补偿法在经过常规光刻热熔成形和离子束刻蚀技术制成的硅微透镜阵列上再涂敷几层光刻胶,以降低各单元微透镜的曲率,然后再次进行加热固化和离子束刻蚀.扫描电子显微镜(SEM)显示微透镜阵列为表面极为平缓的方底拱面阵列,表面探针测试结果显示用补偿刻蚀法制作的微透镜的物方F数和像方F'数分别可达到49.26和53.52,并且微透镜的点扩散函数比较接近理想值. 相似文献
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提出了基于微测热辐射计的320×240凝视型非致冷红外热像仪的系统设计方法,指出了设计320×240凝视型非致冷红外热像仪的关键,为研制出国内第一台320×240凝视型非致冷红外热像仪打下了基础. 相似文献
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对亚波长结构抗反射表面的设计原理和设计方法进行了较详细的论述.基于等效媒质近似理论,给出了一维光栅结构的等效折射率.描述了二维对称结构的一维近似分析方法及其等效折射率估算方法.为得到大的特征尺寸,提出了基脊和隙空的混合设计概念. 相似文献
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利用SVGA实现红外全灰度图像的实时显示 总被引:1,自引:0,他引:1
论述了一种用于红外测试系统的对SVGA进行高级编程的方法,通过对显示适配器底层功能的调用成功地实现了对全灰度数字红外图像的实时显示,可以替代红外成像测试系统中传统的录像机记录模式.给出了若干关键的程序函数和编程技巧,并给出了实验结果.研究表明,通过高效率编程直接把图像数据传输和显示,具有硬件简单、无信号损失、检索方便等优点. 相似文献
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印尼煤是我国沿海地区火电厂燃用的重要煤种之一,常被用于同其它煤种掺烧.文中用热重分析方法研究印尼煤和其它3种常用动力煤按不同比例掺混后的燃烧过程,通过比较混煤燃烧的活化能,判断其着火特性.试验结果表明,印尼煤的活化能很低,很容易着火,其与着火特性较差的煤种混合时,能显著改善着火特性较差煤种的着火特性,与着火特性接近的煤种混合时,着火特性偏向燃烧活化能较大的煤种. 相似文献