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对核动力装置中的故障问题进行了研究,根据系统结构和运行特点,基于分布式诊断策略将核动力装置划分成三级子单元结构,将故障诊断任务划分到不同的子单元中,采用核主元分析(kernel principal component analysis)进行故障检测,监测核动力装置的运行状态,采用模型法对不同的设备单元建立相应的模型进行故障诊断、识别,并辅以专家知识进行补充,得到故障问题的最优解,并以此为依据设计了核动力装置分布式故障诊断系统。在全范围仿真机上的测试表明,基于分布式策略的故障诊断方法有效,核动力装置分布式故障诊断系统具有较高的可靠度,满足故障诊断的功能要求。 相似文献
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主要对硅外延工艺中的HCl气相腐蚀原理以及HCl气腐对外延工艺的作用进行了分析。从HCl腐蚀速率、腐蚀温度和对外延层电阻率均匀性影响等方面进行了重点研究,并采用不同的工艺条件,进行了相关的对比试验,总结了HCl气腐对外延层影响的规律。 相似文献
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该文主要对VDMOS器件用N/N＋型外延层工艺进行了分析,从造成过渡区展宽的三种因素进行了重点分析,并采用不同的工艺条件进行了相关的对比试验和研究,总结了外延层过渡区工艺规律并提出了改善方案。 相似文献
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