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11.
Modeling Chemical Mechanical Polishing with Couple Stress Fluids   总被引:9,自引:0,他引:9  
Chemical mechanical polishing (CMP) is a manufacturing process used to achieve high levels of global and local planarity. Currently, the slurries used in CMP usually contain nanoscale particles to accelerate the removal ratio and to optimize the planarity, whose rheological properties can no longer be accurately modeled with Newtonian fluids. The Reynolds equation, including the couple stress effects, was derived in this paper. The equation describes the mechanism to solve the CMP lubrication equation with the couple stress effects. The effects on load and moments resulting from the various parameters, such as pivot height, roll angle, and pitch angle, were subsequently simulated. The results show that the couple stress can provide higher load and angular moments. This study sheds some lights into the mechanism of the CMP process.  相似文献   
12.
黄河中下游特别是黄河小浪底至东平湖区间,历来都是黄河防汛的重点河段,多年来,由于河道来水持续偏少,河槽不断萎缩,加剧了二级悬河的形成,使平滩过流能力进一步降低,防汛问题越来越突出.尤其是近些年来,滩区大面积的违章植树造林、修建生产堤,严重危险黄河行洪安全.为了掌握违章片林和生产堤现状,为清障工作提供依据,2003年,地理所遥感与GIS研究室受黄委会信息中心委托,对黄河小浪底-东平湖河段进行了一次1:2.5万比例尺的航空遥感摄影,主要目的是对生产堤等进行详细调查.  相似文献   
13.
地籍管理是土地管理中的核心内容,其数据的直接来源是地籍调查即权属调查和地籍测量;由于地籍调查的成果一经确认即具有法律效力,因此要求其数据成果必须做到格式规范、界址清楚,精度满足管理要求.  相似文献   
14.
河北省衡水市处于有咸水区,由于深层淡水长期超采,水位大幅度下降,致使浅、深层水水头差加大,在较大垂向水力梯度作用下,使地下水水化学环境发生了变化,引起地下咸水下移,使深层淡水第二含水组与第三含水组水质逐渐咸化,呈变差趋势。  相似文献   
15.
张朝辉  郭立霞 《科技信息》2011,(17):47-47,20
本次勘探工作共施工钻孔28个,进尺2023623m,其中水文孔1个,进尺107820m,抽水3层次;煤层气测试孔4个,进尺2909.86m,测试4层次;全部钻孔进行了测井,总计2029050实测米。查明了区内地层、构造、煤层、煤质等情况,查明了区内煤炭资源储量。  相似文献   
16.
针对无线传感器网络中拓扑控制算法优化目标单一的问题,提出一种既能优化网络能量效率,又能保证网络容错性的k-不相交路径的容错拓扑控制算法.首先,构建传感器节点到sink节点的k条不相交路径,通过增加冗余链路以提高网络的容错性;其次,选择路径能耗、路径中节点功率的标准差及路径跳数检测路径质量;最后,建立多目标规划,并利用智能优化算法对其进行求解,根据k值的不同对路径进行择优选择以达到降低网络能耗并延长网络寿命的目的.仿真实验结果表明,由该算法构造的网络拓扑能有效降低网络能耗,延长网络寿命并提高网络的容错性.  相似文献   
17.
化学机械抛光中抛光液流动的微极性分析   总被引:3,自引:1,他引:2  
化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing,CMP)是用于获取原子级平面度的一种有效手段,抛光液是其中重要因素之一.目前,CMP的抛光液通常使用球形纳米级颗粒来加速切除和优化抛光质量,这类流体的流变性能必须考虑微极性效应的影响.本文给出了考虑微极性效应的CMP运动方程,并进行了数值求解,这有助于了解CMP的作用机理.数值模拟表明,微极性将提高抛光液的等效粘度从而在一定程度上提高其承载能力,加速材料去除.这在低节距或低转速下尤为明显,体现出尺寸依赖性.  相似文献   
18.
为了实现大数据量曲线的自动化绘制,以差热-热重曲线为例,利用Excel软件对原始数据进行相应换算后,在AutoCAD软件内嵌的VBA程序编辑器中,编写了可自行读取Excel软件中数据并在AutoCAD绘图界面下自动绘制曲线的程序代码.当有多组平行实验数据时,通过该方法还可以实现曲线的批量化绘制.该方法操作简单,对数据适应性强,且源程序简单易懂,可为编程基础较差甚至零编程基础的大型分析仪器使用者提供参考.  相似文献   
19.
根据随机碰撞过程中的级联碰撞原理,跟踪载能粒子在固体内的慢化过程,选用SRIM2008软件模拟了Co、Al共掺杂ZnO靶材在溅射过程中离子与固体相互作用.研究了溅射过程原子的选择性溅射现象,溅射原子的能量、角度分布情况,得出ZnO基靶材溅射过程中离子与固体相互作用的规律.欲获得成分接近Zn0.85Co0.1Al0.05O的薄膜,最佳的溅射工艺条件为:Ar+离子以68°的角度入射,靶材成分采用Zn0.7Co0.23Al0.07O.  相似文献   
20.
随着中煤再选工艺在选煤行业的普及,中煤再磨再选产生的高泥化、微细粒煤泥成为困扰选煤厂洗水闭路循环的一项难题.为解决中煤再选工艺煤泥水沉降困难、溢流水浊度高的问题,以辽宁某炼焦煤选煤厂的中煤再选作业煤泥水为研究对象,在对煤泥性质和生产用水水质分析的基础上,以氯化钙、硫酸铁和PAC作为凝聚剂,PAM为絮凝剂进行了煤泥水沉降...  相似文献   
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