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The prototype of a field-emission pressure sensor with a novel structure based on the quantum tunnel effect is designed and manufactured, where a cathode emitter array is fabricated on the same silicon plate as the sensible film. For an integrated structure, not only the alignment and vacuum bonding between the anode and cathode are easy to be realized, but also a fine sensibility is guaranteed. For example, the measured current density emitted from the effective area of the sensor can reach 53.5 A/m2 when the exterior electric field is 5.6 x 105 V/m. Furthermore, it is demonstrated by finite element method simulation that the reduction in sensor sensitivity caused by emitters on the sensible film is negligible. The difference between the maximum deflections of the sensible films with and without emitters under specified pressure is less than 0.4 %. Therefore, it can be concluded that the novel field-emission sensor structure is reasonable. 相似文献
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针对石油污染土壤因石油成分复杂且在水相中溶解度低而难以修复问题,采用了表面活性剂和环糊精增效电动力学修复技术,研究了十二烷基苯磺酸钠表面活性剂和β-环糊精单独添加及联合添加时对电动力学修复石油污染土壤的影响,分析了表面活性剂和环糊精增效电动力学作用下土壤中污染石油的迁移机理。结果表明:在电动力学效应中,电渗析作用是石油污染物迁移的主要动力,石油去除率达到45%以上。十二烷基苯磺酸钠和β-环糊精都可以增加石油的溶解性,提高石油的迁移。但是二者各有优缺点,二者的混合液作为石油的增溶剂是最佳选择,使电动力学作用下土壤去油率最高达85.2%。 相似文献
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一种MEMS热电制冷器的设计 总被引:1,自引:0,他引:1
研究一种基于MEMS工艺的微型热电制冷器.采用薄膜热电材料减小器件的尺寸,采用微机械加工工艺形成的硅杯结构降低衬底的热泄漏.器件在材料和工艺上都与微电子工艺兼容,易于与电子器件集成.分别讨论了热电臂长度、厚度及绝缘膜厚度等结构参数对器件最大制冷温差、制冷系数、制冷功率等性能的影响,得出最优的设计参数.分析中考虑了绝缘层热泄漏,制冷区的热对流和热辐射,以及接触电阻等非理想因素.分析结果表明,器件工作时达到的最大温差为40 K;冷端温度为290 K时,制冷功率为3 mW. 相似文献
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本文就氧-乙炔热喷焊技术对水轮机叶片(OrCl3Ni4Mo钢)的表面强化作了初步探讨和实验研究。测定了自熔性合金粉末Ni60喷焊层与基体(OCr13Ni4Mo)间的结合强度和在不同介质中的耐腐蚀性能。实验结。果证明:在OCr13Ni4Mo钢表面喷焊Ni60自熔性合金粉末进行强化是可行的。喷焊后可显著提高基体的耐腐蚀性能和抗磨损性能。 相似文献
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从研究微观个体车辆行为出发,考虑两种不同的具有不确定性的加速机制,提出了随机跟弛模型;在随机跟弛模型的基础上,得到了描述交通流宏观行为的连续性动力学方程,该方程是各项异性的,可以避免Daganzo提出的问题,对动力学方程的稳定性分析,得到稳定性判据。 相似文献
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纳米硅薄膜材料在场发射压力传感器研制中的应用 总被引:3,自引:0,他引:3
设计研制了一种基于量子隧道效应机制的场发射压力传感器原型器件, 用CVD技术制备了粒径为3 ~ 9 nm, 厚度为30 ~ 40 nm的纳米硅薄膜, 并同时把这种低维材料引入到传感器阴极发射尖锥的制作, 形成纳米硅薄膜为实体的发射体结构. 用HREM及TED分析了纳米硅态的显微特性, 用场发射扫描电子显微镜SEM分析了发射体及阵列的微观结构, 用HP4145B晶体管参数测试仪考察了传感器件的场发射特性. 实验结果表明, 当外加电场为5.6×105 V/m时, 器件有效区域发射电流密度可达53.5 A/m2. 相似文献
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