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本文分析了改变齿轮轮辐结构以降低齿轮噪声的途径,认为轮辐的柔度和结构阻尼是影响噪声的重要因素。本文还给出了齿轮轮辐结构变化的一些实例。 相似文献
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严利人 《世界科技研究与发展》2006,(2)
在集成电路制造中,通常采用各电学参数的测试值来衡量和评价工艺效果。一种可能的工艺后果是,出现了测量结果偏离预定目标的第I类工艺缺陷。传统上的基于SPC的工艺控制技术,不含工艺诊断的内容,在寻找造成工艺失效的原因时,存在着巨大的困难。本文对集成电路制造过程中所涉及到的几类重要参数间的关系,进行了详细的分析,由此确定造成诊断问题困难的根本原因,在于测试现象与工艺故障因素之间是多对多的关系。通过正交化的方法,可以将测试参数转化成为一组广义参数。广义参数与故障因素之间存在着一对一的联系。这样就找到了一种有效的,从异常的广义参数值确定失效原因的工艺诊断方法。本文对第I类工艺诊断的技术进行了讨论。在集成电路制造自自治系统中,对于I类工艺缺陷的纠正过程,也就是工艺结果不断向工艺目标趋近的过程。 相似文献
408.
介绍以单片机为核心、电话机为接口的控制与监测系统的软、硬件设计,该系统具有高度集成、实时控制与监测的功能。 相似文献
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