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严利人 《世界科技研究与发展》2006,(2)
在集成电路制造中,通常采用各电学参数的测试值来衡量和评价工艺效果。一种可能的工艺后果是,出现了测量结果偏离预定目标的第I类工艺缺陷。传统上的基于SPC的工艺控制技术,不含工艺诊断的内容,在寻找造成工艺失效的原因时,存在着巨大的困难。本文对集成电路制造过程中所涉及到的几类重要参数间的关系,进行了详细的分析,由此确定造成诊断问题困难的根本原因,在于测试现象与工艺故障因素之间是多对多的关系。通过正交化的方法,可以将测试参数转化成为一组广义参数。广义参数与故障因素之间存在着一对一的联系。这样就找到了一种有效的,从异常的广义参数值确定失效原因的工艺诊断方法。本文对第I类工艺诊断的技术进行了讨论。在集成电路制造自自治系统中,对于I类工艺缺陷的纠正过程,也就是工艺结果不断向工艺目标趋近的过程。 相似文献
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介绍以单片机为核心、电话机为接口的控制与监测系统的软、硬件设计,该系统具有高度集成、实时控制与监测的功能。 相似文献
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不久前,欧盟委员会在布鲁塞尔宣布,经过初选,3家工业集团联盟入选竞争伽利略卫星定位导航系统最终独家授权经营商的资格。截止到2003年12月5日,一共有5大工业集团联盟向欧盟正式提出了竞标伽利略系统的独家经营权。经过3个月的内部评选,最终有3大工业联盟成功入选“进士”,参加最后的“状元”之争。他们分别是:进士甲————由欧洲通信卫星组织和西班牙卫星公司组成的联盟;进士乙————由国际海事卫星组织、欧洲航空防务航天公司和达拉斯公司组成的联盟;进士丙————由阿尔卡特公司、Vinci集团和意大利最大的航空航天及军工集团、Finm… 相似文献
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A unique SiC whisker wheel was invented, in which the whiskers were aligned normally to the grinding wheel surface. In this paper, grindabilities of the SiC whisker wheel are investigated and compared with those of other wheels of SiC grains, Al2O3 grains, as well as Al2O3 long and short fibres which were also aligned normally to the grinding wheel surface, respectively. The main research contents concern grinding characteristics of a directionally aligned SiC whisker wheel such as material-removal volume, wheel-wear rates, integrity of the ground surfaces, grinding ratios and grinding efficiency. Furthermore, grinding wheels of whiskers and fibres have a common disadvantage: they tend to load easily. The authors have proposed a simple method of loading-free grinding to overcome this propensity and investigate some related grinding characteristics under loading-free grinding conditions. 相似文献
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该文介绍了单端正激式脉冲变压器的工作原理和设计方法,指出了在设计时应注意的问题,这种分析与设计的基本原则可推广应用于其它类型脉冲变压器或滤波电感的设计与分析。 相似文献
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本文采用氩离子刻蚀法,将SiOxNy膜减薄成不同厚度的样片,并制成Al-SiOxNy-Si系统的MIS电容器。利用平带电压随膜厚度变化的关系和最小二乘法,测定有效功函数差和Si-SiOxNy系统的固定电荷密度。结果表明,该系统的平带电压值明显高于Al-SiO2-Si系统的值,原因是固定电荷密度增大、有效功函数差减小和相对介电常数增大的综合结果。有效功函数差的减小与Si-SiOxNy界面态密度的增大 相似文献