2.5D集成电路中低阻硅通孔的电学性能研究

2.5D集成技术（转接层技术）可以实现不同芯片间的异质集成,基于低阻硅通孔（TSV）的转接层利用了低阻硅的良好导电性,可以代替铜基硅通孔,具有工艺简单、成本低廉的优点.本文对低阻硅通孔进行了电磁学仿真,在1 GHz时,回波损耗S₁₁为-24.7 dB,插入损耗S₂₁为-0.52 dB基本满足传输线的要求.提出了等效电路模型,与电磁仿真结果对比,具有较好的一致性,可以实现在0.1~10 GHz带宽内的应用.最后对低阻硅通孔进行了TDT/TDR及眼图仿真,结果表明虽然低阻硅通孔的电阻对压降有较大影响,但是寄生电容的影响相对较小.      

应用于微结构制造自治系统的流程自动生成

本文介绍计算机自动生成微结构制造流程的技术。微结构器件的种类繁多,不同器件的加工特点都不相同,即以中等复杂程度的CMOS结构而言,其制造流程就达到了几百个步骤之多,因此流程的生成技术是极具挑战性的。一个适用流程可按由简入繁的过程逐步形成。本文首先介绍了根据器件结构的特点,确定单元加工顺序的优先级方案;在单元加工顺序确定后,参照本文所定义的一个原型工艺库,可以将对单元的加工处理展开成局部的工艺步骤串;工艺步骤串连缀而成的初始工艺流程,经过一定的优化与适配工艺条件的之后,产生出在实践中能够直接使用的、详细的工艺流程卡。     

应用于微结构制造自治系统的第Ⅰ类工艺缺陷诊断

在集成电路制造中，通常采用各电学参数的测试值来衡量和评价工艺效果。一种可能的工艺后果是，出现了测量结果偏离预定目标的第1类工艺缺陷。传统上的基于SPC的工艺控制技术，不含工艺诊断的内容，在寻找造成工艺失效的原因时，存在着巨大的困难。本文对集成电路制造过程中所涉及到的几类重要参数间的关系，进行了详细的分析，由此确定造成诊断问题困难的根本原因，在于测试现象与工艺故障因素之间是多对多的关系。通过正交化的方法。可以将测试参数转化成为一组广义参数。广义参数与故障因素之间存在着一对一的联系。这样就找到了一种有效的，从异常的广义参数值确定失效原因的工艺诊断方法。本文对第Ⅰ类工艺诊断的技术进行了讨论。在集成电路制造自自治系统中，对于Ⅰ类工艺缺陷的纠正过程，也就是工艺结果不断向工艺目标趋近的过程。     

纯亚麻色织细布的生产

为适应市场需求，开发了色织纯亚麻细布，详细介绍了该产品的织物规格，络筒。整经及上浆和织造的技术要求，认为在生产过程中，上浆过程较为重要，其次是整经和织造过程。     

一种实现瞬时均流的UPS冗余并联新方法

为提高不间断电源(UPS,uninterruptiblepowersupply)冗余并联运行系统的可靠性和工程可实现性,提出了一种实现瞬时值均流的分布式控制新方法。基于平均电流法原理,通过连接各并联UPS模块的仅3条低频信号总线(而无需专门的控制模块)实现均流。通过均流回路与基准同步回路的解耦控制,使系统惯性大大降低。只用一个调节器,既调节输出电压、同时又实现环流抑制。并联系统在线性或非线性负载条件下都具有很好的动态响应性能和均流效果。文中分析了系统结构和工作原理,并给出了仿真和实验结果。     

Interface and Surface Properties of Nano—hydroxyapatite／Poly（1,4—Phenylene—Sulfide）—Poly（2,4—Phenylene Sulfide Acid）Copolymer Composite

The interface and surface properties of nano-hydroxyapatite(n-HA)and poly(1,4-phenylene suIfide)-poly(2,4-phenylene sulfide acid)(PPS-PPSA) copolymer composite were investigated.The results show that there are some strong interface combinations of calcium ion(Ca^2 ),carboxyl(-COO^-)and phosphate radicle ion(PO4^3-)between copolymer and n-HA in the composite.The presence of the 2,4-phenylene sulfide acid in copolymer can increase the affinity to nHA,which causes the formation of chemical bindings between the PPS-PPSA copolymer and nHA.XRD analysis and IR surface analysis indicate that n-HA is not encapsulated by copolymer but exposed on the surface of the composite,and has same structure and properties with the original n-HA.The presence of the interface chemical bindings between the PPS-PPSA copolymer and n-HA can increase the content of n-HA in composite but does not cause the decrease of the composite mechanical strength.     

聚苯硫醚的合成与结构研究：Ⅱ.聚苯硫醚的流变性能, …

在合成和表征不同类型的聚苯硫醚树脂的基础上，对不同类型ＰＰＳ的流变行为以及各类ＰＰＳ的结晶度及热历程对不同结构类型ＰＰＳ的结晶度的影响进行了研究，结果表明，各种聚苯硫醚树脂在相同条件下的流变性能有所不同，各种聚苯硫醚树脂的结晶度，及热奋力历程对其结晶行为的影响也有差异。     

现代酒店制服设计析

从酒店制服的现代分析着手，指出了当前国内酒店制服设计的不足，提出了解决的办法及酒店对制服设计的基本要求和设计要点。     

人民币资本项目可兑换改革的现实考察

2004年以来,随着QFII、QDII等一系列放松资本项目管理的政策出台,人民币资本项目的开放力度越来越大,正朝着完全可兑换的最终目标迈进。本文就2004年以来,我国政府推进人民币资本项目可兑换的举措、思路和政策效果进行评价、探讨。     

"贝类预警"技术在淮河五河段水污染物追踪中的应用

对采集自淮河中游五河段的沉积物和淡水贝类样品,利用ICP-AES 和 GC-MS 进行重金属和多环芳烃分析,结果表明砷、铅、铬超标,多环芳烃在沉积物中的含量最多,研究区域的PAHS污染严重.这些有毒污染物可能来自上游工业区的淮南和蚌埠段,在贝类软体中有较高含量.因此,这些污染物有可能经食物链富集于其他生物体内,对水生态系统产生损害,进而影响到水产品食用安全,应进一步加强研究,提出防治对策.