周期可调谐金属光栅的制备工艺研究

介绍了一种制备金属可调谐光栅的新技术。首先采用紫外光刻技术将光栅结构制作至PDMS（聚二甲基硅氧烷）基底，并在其上蒸镀金属Cr层和Ag层，然后采取金属举离工艺得到金属光栅。利用PDMS高弹性的特点，通过控制PDMS纵、横向拉伸程度，对金属光栅周期进行连续、任意调谐，获得预定的目标周期。实验结果表明，金属光栅调谐范围超过其初始周期的100%。     

基于纳米压印技术制备200nm周期金自支撑透射光栅

采用纳米压印技术作为制备亚微米周期光栅图案的核心技术,并结合反应离子刻蚀,电子束蒸镀,微电镀,紫外光刻,湿法刻蚀成功制作了面积为5 mm×8 mm、周期为200 nm、占空比近1∶1的大面积金自支撑透射光栅.首先利用紫外光固化纳米压印技术和反应离子刻蚀在高分子胶层上复制出石英模板上的纳米光栅结构,然后用微电镀技术制备出金光栅.为了获得具有较深槽深的光栅图形,采用了纳米压印双层胶工艺体系.此工艺利用了纳米压印技术分辨率高、效率高的优点,并且可以制备出剖面陡直、对比度高的高分辨率纳米光栅线条.最后用紫外光刻,微电镀和湿法腐蚀制作出支撑结构,获得金自支撑透射光栅.     

高年级本科生参与大学物理实验教学的实践和思考

针对一些实验教学存在的问题,阐述高年级本科学生实验助教的积极意义,针对聘用实验助教过程中存在的一些实际问题,提出将来更有效开展聘用实验助教来提高实验教学质量的有效措施.