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为了研究多种作用因素在高加速、大行程条件下对超精密微动台静态精度的影响,利用刚体运动学,通过综合工件台中的线性位置误差与角位置误差,建立了超精密气浮工件台的静态误差解析模型。利用该模型,结合有限元等方法定量分析了超精密气浮工件台中加速度、制造误差、结构柔性及气浮轴承刚度等普遍存在的误差因素同时作用时对系统最终精度的影响。通过分析,证明在高加速、大行程条件下,气浮轴承的角刚度不足是造成静态误差的主要因素。 相似文献
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本文利用TRIZ理论中ARIZ问题分析与求解模式,通过对技术系统进行分析,建立系统功能模型、分析问题模型、利用物理冲突、物质-场分析、应用知识库等解决流程,从氧化铝破袋器结构形状、材质选择等方面提出11种技术方案,通过优化组合,研制出破袋效率高、安全可靠的破袋器装置。 相似文献
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对半导体光电探测器光谱灵敏度的测试原理进行分析研究,就研制的1套波长范围为04~11μm的采用双光路替代法,可以测试半导体光电探测器的光谱灵敏度和量子效率的光谱灵敏度测试装置进行了分析,该装置在测试过程中可以减小光源不稳定性对测试结果的影响,可以测试相对光谱灵敏度、绝对光谱灵敏度,还分析了影响该装置测试精度的一些因素,并给出了测试结果 相似文献
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高精度平面光栅尺测量系统的测量精度直接影响浸没光刻机硅片台的定位精度和稳定时间.考虑到安装在平面光栅尺载体上的平面光栅尺因其载体固有频率较低,易受到主基板残余振动和高速硅片台气压扰动而产生振动,因此研究平面光栅尺载体的减振技术意义重大.文中阐述了一种新型平面光栅尺载体减振方法,围绕热解耦技术和粘滞阻尼吸振技术,进行理论建模、仿真分析和测试评价.结果表明粘滞阻尼器和柔性结构并联系统可以显著改善平面光栅尺载体结构动态特性,提升平面光栅尺测量系统的测量精度及缩短硅片台的稳定时间. 相似文献
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以往将滚动机构用于微幅隔振领域时,其建模通常是基于刚性接触和纯滚动运动的假设,理论与实测固有频率存在较大偏差。为了解决上述问题,该文在弹性接触前提下,考虑接触面弹性变形和微观滑动的影响,根据Lagrange方程建立新的保守系统运动微分方程,进而得到固有频率表达式。以往结果仅包含结构参数,该文表达式还包含了相关材料参数。理论结果表明:接触面之间弹性变形储存的弹性势能是以往研究中固有频率偏差的主要来源;实验结果表明:该文所提出的理论比以往模型更接近实测结果,相较于以往模型70%的偏差,该文所提模型的偏差下降到25%。 相似文献
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针对机械手动力学建模误差,提出了基于RBF神经网络误差补偿的自适应控制策略。在基于逆动力学的计算力矩控制方法的基础上,对系统输入与目标轨迹进行修正,设计了两种误差补偿自适应控制器。利用RBF神经网络对修正项在线自学习,并根据Lyapunov稳定性理论建立了网络权重自适应学习律,保证了跟踪误差的收敛及系统的稳定。以平面转动双臂机械手轨迹跟踪为例进行仿真,结果表明该方法能够有效地补偿建模误差,提高了系统的控制性能并使控制系统具有对参数摄动的鲁棒性,对于机械手自适应控制具有一定的可行性。 相似文献
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利用电子显示屏做好公共气象信息的传播 总被引:2,自引:0,他引:2
阐述了公共气象信息传播的重要性,介绍了现有公共气象信息的传播手段,详细论述了电子显示屏播放气象信息的优势. 相似文献
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