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MEMS中硅的深度湿法刻蚀研究 总被引：1，自引：0，他引：1
探讨用于MEMS硅湿法刻蚀的刻蚀液浓度、温度、添加剂种类和浓度对刻蚀速率及表面粗糙度的影响,优化得到最佳刻蚀条件,刻蚀速率较常用刻蚀条件时提高约3倍;用扫描电镜观察刻蚀后的表面形貌,结果显示优化刻蚀条件下硅表面粗糙度得到极大的改善.以优化的刻蚀条件进行深度刻蚀,蚀刻出深达236μm的窗口,图形完整,各向异性良好. 相似文献
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幼儿园篮球教学活动是指教师有计划、有目的、有组织的通过游戏形式教授幼儿篮球活动的基本动作,在帮助幼儿掌握各种基本动作的同时,增强幼儿的体质以及促进幼儿良好个性品质与社会性发展的教学活动。本文试图从简化篮球的教法入手,积极寻找适合幼儿年龄特点和运动特点的教育教学方法,让幼儿喜欢并爱上这项运动,使他们不但学会篮球技能还锻炼了身体,提高了身体素质,提高了运动能力,充分享受篮球运动带来的快乐。 相似文献
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以AlN薄膜为压电层,采用体硅微细加工工艺制备背空腔型结构薄膜体声波谐振器.材料测试结果表明,在优化溅射工艺下沉积的AlN薄膜具有(002)择优取向及良好的柱状晶结构.扫描电镜表征结果证实所制得空腔背部平滑且各向异性较好.用网络分析仪测试可知,所制得的谐振器具有较好的频率特性:谐振频率为2.537 GHz,机电耦合系数3.75%,串、并联品质因数分别为101.8、79.7. 相似文献