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介绍了基于流量计法原理搭建的抽速测量装置.在1×10-4~1×10-2Pa下使用磁悬浮转子真空计测量压力，当压力低于1×10-4Pa时使用电离真空计测量压力.提出了一种测量电离真空计抽速与放气率的方法，测量了电离真空计在1×10-6~1×10-4Pa压力下的抽速与放气率.在搭建好的设备上，测量了微型溅射离子泵对氮气和氦气的抽速.使用COMSOL软件分析了不同压力下泵的放电状态并与实验结果进行对比，所得结果一致性好.流量计法的相对标准不确定度低于4.4% 相似文献