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11.
12.
针对目前微电子机械系统(MEMS)制造中存在的三维加工能力不足的问题,将压印光刻技术和分层制造原理相结合,研究了三维MEMS制造的新工艺.采用视频图像原理构建了多层压印的对正系统,对正精度达到2μm.通过降低黏度和固化收缩率,兼顾弹性和固化速度,开发了适用于微压印工艺的高分辨率抗蚀剂材料,并进行了匀胶、压印和脱模工艺的优化实验.通过原子力显微镜对压印结果进行了分析,分析结果表明,图形从模具到抗蚀剂的转移误差小于8%,具有制作复杂微结构的能力,同时也为MEMS的制作提供了一种高效低成本的新方法. 相似文献
13.
功能化磁性微粒的合成与表征 总被引:2,自引:0,他引:2
以3 氨丙基三甲氧基硅烷与Fe3O4纳米粒子反应,制备了超顺磁性、表面修饰—NH2的功能化磁性微粒,带有氨基的磁性微粒进一步与戊二酸酐反应,可转化为—COOH修饰的功能化磁性微粒.利用X射线衍射、红外光谱、激光粒度散射仪等对磁性Fe3O4粒子以及两种功能化磁性微粒进行定性表征,建立了线性电位滴定和电导滴定的方法分别对磁性复合微粒表面—NH2和—COOH的量进行定量分析.结果表明,功能化磁性复合微粒的平均粒径为3~5μm,红外光谱分析结果中显示了功能基团—NH2和—COOH的特征峰谱,线性电位滴定测定功能化磁性微粒—NH2含量为400±50μmol/g,电导滴定法测定—COOH含量为380±50μmol/g. 相似文献
14.
门限回归模型预测粤中西部冬春气温 总被引:1,自引:0,他引:1
用门限自回归模型和混合门限回归模型对广东省中西部的冬春季平均气温做预测.选取北半球500 hPa高度场和太平洋海温场的分区分季节的多个气候背景场的前若干个主分量作为因子(共1792个),这些因子包含着气候背景场的主要信息,通过对预报量和预报因子群的相关筛选,选取相关系数最大的因子建立混合门限非线性回归模型.并初步探讨了气候背景场对预报量的影响.结果表明:混合门限回归模型优于门限自回归模型;前者能较好地拟合冬春气温序列,预报效果较理想.粤中西部冬季气温场与东北半球南部3-4月高度场第5个主模态相关最密切,当3-4月500 hPa高度场东亚大陆为低槽控制,日本海太平洋附近为高压脊,有利于当年冬季气温偏低;春季气温场则与北半球冬季500 hPa高度场第8个主模态相关密切,当冬季500 hPa高度场乌拉尔山附近地区为明显的阻塞高压形势,有利于次年春季气温偏低. 相似文献
15.
基于光纤布喇格光栅调谐的增益控制掺铒光纤放大器 总被引:5,自引:0,他引:5
在掺铒光纤放大器的输人端和输出端分别接入一个波长相同的光纤布喇格光栅,利用简支梁波长调谐的方法调节两布喇格光栅波长的间距,在一定范围内,实现了增益大小可调的增益控制.在增益控制范围内,EDFA的增益控制在0.4dB之内。 相似文献
16.
泰安岩溶水系统地下水动力环境演化规律研究 总被引:5,自引:0,他引:5
从地下水水位的时空演化、地下水水位降落漏斗的形成和演化、地下水埋藏条件的演化以及地下水流场的变异等方面,分析总结出泰安岩溶水系统地下水动力环境的演化规律;指出岩溶水系统地下水动力环境演化是人类活动的结果。 相似文献
17.
保护渣性能对结晶器内传热的影响 总被引:5,自引:0,他引:5
在实验室模拟研究了结晶器内酸性保护渣的传热情况。结果表明:增加保护渣的粘度、提高保护渣的凝固温度,结晶器与坯壳之间渣膜的传热系数和热流密度都减小而热阻增加,通过调整保护渣的性能,可调节渣膜的传热系数,使其适应连铸坯生产的要求。 相似文献
18.
本文设计了FORTRAN下拉式菜单。在TurboC环境下,根据面向对象(oop)的设计思想,进行设计。从原理菜单功能给出了详细的说明。 相似文献
19.
切缝尺寸对大理岩动态断裂韧度的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
段绍伟 《湖南科技大学学报(自然科学版)》1997,(3)
切缝尺寸对能否测得有效的岩石动态断裂韧度是一个关键的因素。本文从宏观上探讨了切缝尺寸对大理岩动态断裂韧度的影响 ,并用分形理论从微观上对其进行定量研究 ,获得了满意的结论。图 4,表 1 ,参 4。 相似文献
20.