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用蒙特卡罗方法,在计算机上模拟了不同工况下薄膜的生长结构,证明了阴影效应和沉积原子的有限迁移是导致柱状结构的原因.采用离子束辅助沉积工艺,可提高膜层聚集密度,消除柱状结构 相似文献
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取向ZnO纳米线阵列的生长机理及发光特性 总被引:5,自引:1,他引:5
用化学气相沉积法制备了圾向纳米氧化锌(ZnO)阵列;用扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)观察了制备的纳米ZnO的形貌结构;用荧光光谱仪(PL)分析了样品的发光特性;以气-液-固(VLS)生长模型和Ehrlich-Schwoebel势垒理论解释讨论了ZnO纳米线的生长结构与机理。 相似文献
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使用结构简单的恒温管式炉设备,以ZnO及无定形碳粉末为原料,高纯Ar气为载气,在单晶硅和Al2O3基底上,用化学气相沉积技术,在600~1100℃范围内翻备了择优取向的纳米ZnO晶体阵列.用扫描电子显微镜(SEM)和荧光光谱(PL)等方法对ZnO薄膜阵列的结构和性能进行了表征,讨论了生长条件对纳米ZnO晶体阵列性能的影响. 相似文献