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深亚微米器件Monte Carlo模拟的数学模型 总被引:1,自引:0,他引:1
讨论了深亚微米半导体器件模拟的Monte Carlo方法(MCM),并简要阐述了玻耳兹曼模型(BTM)、漂移扩散模型(DDM)和流体动力学模型(HDM)之间的关系。 相似文献