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磁控溅射制备AlN过渡层ZnO薄膜及其性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
大量研究表明ZnO薄膜已在气敏器件、表面声波器件和压敏器件等方面得到较为广泛的应用。由于Si与ZnO的晶格常数及热膨胀系数的失配度均很大,难以实现高质量ZnO薄膜的外延生长,采用中间缓冲层是一种值得研究的工艺。由于AIN的晶格结构与ZnO相同,所以可作为生长高质量ZnO薄膜的缓冲层,并改善ZnO/AlN界面结构。实验采用射频磁控溅射制备了ZnO/AlN双层膜,研究了薄膜的结构和形貌。结果表明,相比于相同工艺下制备的ZnO/Si薄膜,双层膜的生长取向依然是(002),应力减小,结晶质量更好。 相似文献
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用矢量法证明开普勒三定律 总被引:1,自引:1,他引:0
给出一种运用矢量的特点和性质构造矢量函数 ,来证明开普勒三定律的方法 相似文献
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低压脉冲的电压幅值测量比较容易,可以测量其幅值数值,还可以观察到其波形.而高压脉冲的电压幅值的测量就比较困难了,一是用现在常用的测量方法其测量精度很低,二是实现直读测量很困难.下面介绍的两种高压脉冲的电压幅值测量方法,可以满足对高压脉冲的电压幅值进行直读测量的需求,而且具有较高的测量精度.1 电容分压法 相似文献