压印光刻中高精度莫尔对准方法的研究

针对分步压印光刻工艺中多层套刻的高精度对准问题,提出一种应用斜纹结构光栅副实现x、y、θ三自由度自动对准的方法.光栅副分为4个区域,应用光电转换器阵列检测光栅副相对移动所引起的莫尔信号变化,通过电路系统处理可同时得到在平面x、y、θ三自由度的对准信号.驱动环节采用直线电机和压电驱动器作为宏微两级驱动,其分辨率分别为0.2μm和0.1nm,在激光干涉仪全程监测下,与控制系统一起构成闭环系统实现自动对准定位.实验结果表明,在多层压印光刻工艺中,实现了压印工作台步进精度小于10nm的高精度定位要求,使整个对准系统的套刻精度小于30nm.因此,应用这种莫尔对准方法可以获得较高的对准精度,同时能够满足压印100nm特征尺寸套刻精度的要求.     

基于微压印成形的三维微电子机械系统制造新工艺

针对目前微电子机械系统(MEMS)制造中存在的三维加工能力不足的问题,将压印光刻技术和分层制造原理相结合,研究了三维MEMS制造的新工艺.采用视频图像原理构建了多层压印的对正系统,对正精度达到2μm.通过降低黏度和固化收缩率,兼顾弹性和固化速度,开发了适用于微压印工艺的高分辨率抗蚀剂材料,并进行了匀胶、压印和脱模工艺的优化实验.通过原子力显微镜对压印结果进行了分析,分析结果表明,图形从模具到抗蚀剂的转移误差小于8%,具有制作复杂微结构的能力,同时也为MEMS的制作提供了一种高效低成本的新方法.     

新疆东天山典型金矿床成矿物质来源探讨

作者根据对新疆东天山典型金矿床的沉淀成矿环境、地球化学特征、稳定同位素特征等的系统分析和研究，论证了形成金矿床的硅质流体最初是一种以水为主要溶剂，以溶解态、胶体态氧化硅为主要溶质的高温高压(超临界态)溶液，其来源于地幔，是一种溶解了大量SiO2的地幔流体。而成矿元素主要来源于硅质流体上升运移过程中所经围岩，以致成矿物质来源具异源性。这对研究内生金矿床的成矿机制和成因有着十分重要的意义。     

基于 uClinux的usb主设备模块实现

介绍了从原理到软件编程,USB主设备模块的实现.拓展性地把USB主设备模块建立在嵌入式微处理器上,抛开了PC;在USB主设备上使用uClinux嵌入式操作系统,符合OTG技术和嵌入式设备的发展趋向.因此,项目具有积极的经济意义和先进性.     

生物农药微胶囊制备研究

 报道以蜜胺树脂作为囊壁材料,使用原位聚合法对生物农药阿维菌素进行包囊,制备微胶囊制剂.结果表明蜜胺树脂是较好的生物农药用微胶囊缓释剂型的囊壁材料,其制备工艺简单,具有良好的的外观形貌、粒径大小分布、稳定性、悬浮性等,包封率为83.24%.     

贵州喀斯特地区生态经济类型划分

根据生态经济学理论,采用主成分分析法和聚类分析法,选取 47个指标对贵州 75个喀斯特县(市)进行生态经济类型划分研究,将 75个喀斯特县(市)分为 2个一级类型、9个二级类型、18个三级类型、8个四级类型,并对不同类型的发展潜力在命名上作了定位,为进一步研究不同生态经济类型的发展提供了基础。     

太阳能LED路灯照明系统优化设计

在珠海完成国内第一个太阳能LED路灯示范工程的工作基础上,从路灯光源、控制电路、太阳电池组件最佳倾角确定、太阳电池组件和蓄电池容量确定等几个方面对太阳能路灯进行了设计优化,做到既能保证系统的稳定可靠运行,又能尽量减少系统规模和降低成本.结果表明采用LED作为路灯光源、直接耦合的方式的充放电控制器是太阳能路灯很好的选择,同时通过科学计算的方法对在珠海地区使用时太阳电池组件最佳倾角和组件和蓄电池容量进行了讨论.使用的方法和结论可以为的其他的太阳能路灯设计提供有力的帮助.     

以多聚甲醛为还原剂用液相还原法制备碳载铂催化剂

以多聚甲醛为还原剂用液相还原法制备了直接甲醇燃料电池（DMFC）用的碳载Pt（Pt/C）催化剂.结果表明,由于制得的催化剂中Pt晶粒的平均粒径小,结晶度低,因此对甲醇氧化的电催化性能优于商品化的E-TEK公司的Pt/C（Pt/C-E）催化剂和以甲醇为还原剂制得的P/C（Pt/C-M）催化剂.     

煤与生物质共超临界水催化气化制氢的实验研究

在压力为20～25MPa、停留时间为15～30s、：NaOH添加量(质量分数)为0．1％、反应器外壁温度为650℃的条件下，对煤与生物质的模型化合物羧甲基纤维素钠(CMC)在超临界水环境中的催化气化制氢性能进行了研究，探讨了物料浓度、压力以及停留时间对煤与CMC共气化制氢的影响．实验结果表明：煤与CMC二共超临界水催化气化制氢的主要气体产物是H2、CO2和CH4，H2的体积分数可高达60％以上；增加物料浓度、升高压力有利于提高产氢率，但延长停留时间不利于氢气的制取．     

一种IP/DWDM光因特网中的路由选择机制

研究了一种资源约束最短路径优先 (RCSPF ,Resource ConstrainedShortestPathFirst)路由选择机制·这种机制可以用于扩展以通用多协议标记交换GMPLS为基础的IP/DWDM光因特网控制平面·借助光网络设备的可编程功能 ,在现有开放最短路径优先OSPF协议基础上 ,增加基于资源的路由约束条件 ,在一定程度上减少发生网络拥塞的可能性·另外 ,由于采用源路由以及在选路由过程中采用资源预分配机制 ,因此增强了对GMPLS信令系统的支持·同时 ,为了解决在资源不足情况下造成的信道分配失败问题进一步提出了相对路由的概念 ,使IP/DWDM光因特网在大幅增加带宽容量的同...