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SiCl_4-H_2沉积多晶硅薄膜过程中放电功率的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
以SiCl4 和H2 为气源 ,用等离子体增强化学气相沉积技术 ,以 3 5 s的速率生长出了晶化度为 75 %的优质多晶硅薄膜 .着重分析放电功率的影响 ,结果表明 :随着功率的增大 ,薄膜沉积速率基本上线性增大 ,之后有减小的趋势 ;薄膜晶化度随功率的增大而减小 ;功率较大时 ,晶粒密度也大 ,且比较均匀 ,但晶粒尺寸较小 ,功率较小时 ,大尺寸的晶粒明显增多 ,但仍有较多的小晶粒存在 相似文献
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魏俊红 《科技情报开发与经济》2006,16(13):158-159,163
简述了电子商务理论的演变过程及电子商务的应用形式,包括电子数据交换、网上营销、网络银行等。探讨了电子商务的应用使企业面临的历史变革,指出作为21世纪的一种基本商务形式,电子商务已经成为具有敏锐战略眼光企业家的选择。 相似文献
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基于PSO算法的复合材料层合板可靠性优化设计 总被引:2,自引:0,他引:2
采用粒子群算法(PSO)分析了存在初始缺陷的复合材料层合板的可靠性优化问题.在层合板结构总厚度一定的情况下,以系统可靠度最大为目标函数,对复合材料的纤维方向角和相对厚度进行优化设计.单层板失效与否应用Tsai-Wu准则判断,采用一次二阶矩法(FORM)计算和评价失效概率.通过具体算例及借鉴遗传算法中的在线性能和离线性能评估准则,对粒子群算法的收敛性能进行评估,结果表明:与遗传算法相比,该方法具有操作简单、计算效率高等特点,对复合材料层合结构的可靠性优化设计十分有效. 相似文献
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