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在已有的调谐基片自偏压研究的基础上,进一步研究了基片台空间轴向位置对基片自偏压-调谐电容曲线的影响;研究了基片分支串联电阻对基片自偏压的影响,发现了在电阻值区自偏压自振荡现象;在不同的放电参数下,采用自制诊断工具测量了射频感应耦合等离子体电子温度、电子密度等参量的空间分布.并对基片自偏压相应的实验现象给出了物理模型解释. 相似文献
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霍伟刚 《辽宁师范大学学报(自然科学版)》2006,29(2):166-167
射频Langmuir探针是诊断射频感应耦合等离子体参数的重要工具.通过给探针添加LC调谐电路.减小了探针尖鞘层射频压降的干扰,得到可以由简单理论处理的I-V特性曲线;通过控制扫描电压大小对探针尖进行加热或溅射,解决了探针尖污染和测量结果不能重复的问题,找到恰当的测量扫描电压. 相似文献
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在带有共轴零电位附加电极的空心圆管等离子体源离子注入过程中,附加电极半径的大小直接影响到空心圆管端点内表面、端点表面和外表面的离子注入剂量,进而影响空心圆管表面的结构和性质,对空心圆管的不同部位这种影响是不同的.利用无碰撞两维流体动力学模型,研究了有限上升时间的电压脉冲作用下,共轴放置附加零电位的半无限空心圆管端点附近等离子体源离子注入过程中,附加电极半径变化时,空心圆管端点附近离子注入剂量分布随时间的演化规律.计算机模拟结果显示了附加电极半径改变时,空心圆管内部、外部及端点表面处的离子注入剂量分布发生变化. 相似文献
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