异丁醛一步氧化反应器操作工况的模拟研究

建立了文题反应器的二维拟均相数学模型。经正交配置技术离散化处理后，由Ｇｅａｒ法求得床层内温度和收率的轴向、径向分布，模拟工业单管的结果与实测值较好地吻合。通过工况模拟，为年处理６ｋｔ异丁醛工业反应器确定了优选的操作条件及适宜的操作可行域，为设计、操作和控制提供指导和依据。     

晶圆表面金属薄膜的纳米精度在线测量方法与实现

本文主要介绍了晶圆加工中的几何参数的纳米精度在线测量的原理、方法和测量仪器研究。针对化学机械抛光（ CMP ）中晶圆表面的金属膜厚的高精度快速在线和离线检测技术的要求，通过数值模拟和理论分析，研究了涡流传感器的参数对其灵敏度的影响规律，得到了提高灵敏度的新方法；实验验证了一种减小提离高度对膜厚测量精度影响的测量方法的有效性，并设计开发了快速多频测试系统；设计了电涡流在线和离线检测系统，并成功应用于国家重大专项项目“超低下压力化学机械抛光装备样机”中，实现了用电涡流方法进行全自动、快速、多模式、大提离条件下的晶圆金属膜厚度纳米级分辨率在线测量和晶圆抛光后铜膜厚度离线全局测量。     

KSZP陶瓷材料强化新途径

增强增韧一直是陶瓷科学与技术研究的重要课题.目前最常用的方法是多相复合,如颗粒、晶须和纤维补强和自补强.相变是陶瓷中的普遍现象,ZrO_2增韧陶瓷是利用相变现象的一个典型例子.表面压应力增强材料的现象,在表面施釉或膨胀系数小的膜层、离子交换、淬火和表面化学反应过程中得以应用.我们在研究[NZP]低膨胀陶瓷时,发现一种利用相变强化陶瓷的方法,本文报道其有关的内容.     

壁冷式固定床反应器的多态研究

以邻二甲苯氧化制苯酐为工作反应，采用正交配置法和连续性算法对带有轴向导热的一维拟均相模型进行模拟计算，得到了反应器发生多态的区域。结果表明，轴向热反馈虽引起多态现象的重要因素，热反反馈越大，多态范围越宽，提高了反应器的操作稳定性，单管试验表明，在床层中设置导热片后，明显扩大了多态区域。     

多維平穩广义随机过程的譜分析

在无綫电电子学、自动控制等学科中,常要考虑具有随机輸入的綫性系统,而所輸入的随机量,一般来說,应該为一随机向量函数,即为一多維的随机过程。在多数場合中,可以认为輸入量是一多維的平稳过程。由于这种需要,最近二年来,在多維平稳过程方面出現了系統的研究工作(参見[1]—[3])。我們知道,一維平稳过程的統計特征,完全由它的譜函数所决定。对于多維平稳