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采用MOD工艺制备PZT铁电薄膜及其性能 总被引:3,自引:0,他引:3
研究了采用金属有机化合物热分解(MOD)法制备锆钛酸铅Pb(Zr0.52Ti0.48)O3铁电薄膜的工艺及PZT薄膜的介电性能,利用XRD分析了薄膜的结晶过程,制得具有钙钛矿结构的PZT薄膜,铂电极有利于钙钛矿相的形成,薄膜的介电温谱研究结果表明,薄膜的居里温度约为430℃(1KHz)。 相似文献
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