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随着聚焦离子束(focusedion beam,FIB)无掩膜微细加工能力的迅速发展,结合精确定位能力,FIB已成为新型且出色的纳米制造工具.对FIB无掩膜注入单晶硅衬底的注入效果与离子束流、注入剂量的关系进行研究发现,以固定能量注入的离子,当注入剂量恒定,离子浓度随深度的分布与离子束流大小无关;当离子束流恒定,注入离子的表面浓度随注入剂量的增加而增加,但是由于FIB注入的同时会刻蚀材料表面,注入剂量达到饱和值后,会造成材料一定程度的减薄. 相似文献
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班级德育需要班主任用欣赏和激励的眼光看待学生、引导学生,而不是总用批评、指责、惩罚的方式对待学生。当前,以表扬、赞赏为特征的赏识教育逐渐成为一种教育"时尚"。本文结合多年的职校德育工作谈谈赏识教育的心得体会。 相似文献
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马口铁镀层的SIMS分析 总被引:1,自引:0,他引:1
马口铁的抗腐蚀性能主要取决于外表面锡保护层的质量和结构,质量优良的钢皮基体以及上锡工艺,可以在锡层厚度减薄的情况下保持马口铁的抗腐性能,从而降低其生产成本,本文利用装备在电荷耦合器图象数字处理系统的IMS-3F型二次离子质谱仪,研究分析了镀层结构对马口铁性能的影响。 相似文献
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重掺砷硅单晶中痕量硼的二次离子质谱定量分析 总被引:2,自引:0,他引:2
重掺砷硅单晶中杂质硼含量的控制是十分关键的,因无法用常规的红外光谱法测试,于是转而使用二次离子质谱法来测试,虽然二次离子发射机理复杂,基体效应明显,但通过相对灵敏度因子法,还是能够比较精确地给出定量测试结果,解决重掺砷硅单晶中硼杂质的定量检测问题,进而为控制硼含量提供了依据和帮助。 相似文献
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随着聚焦离子束(focused ion beam, FIB)无掩膜微细加工能力的迅速发展,结合精确定位能力,FIB已成为新型且出色的纳米制造工具.对FIB无掩膜注入单晶硅衬底的注入效果与离子束流、注入剂量的关系进行研究发现,以固定能量注入的离子,当注入剂量恒定,离子浓度随深度的分布与离子束流大小无关;当离子束流恒定,注入离子的表面浓度随注入剂量的增加而增加,但是由于FIB注入的同时会刻蚀材料表面,注入剂量达到饱和值后,会造成材料一定程度的减薄. 相似文献
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利用SIMS分析研究离子注入损伤吸附杂质的作用 总被引:1,自引:0,他引:1
用(BF2)^+替代B^+注入,是一种重要的注入掺杂形成浅结的工艺手段。(BF2)^+注入也有不利的一面。剩余F原子的积聚以及大量二次缺陷的存在,都将影响PN结构的性能,利用离子束损伤技术可以有效地消除上述+注入的不足之处。该文利用SIMS技术,测试分析经预注入低能(BF2)^+后,直接进行高温热温热退火的样品,以及预注入低能(BF2)^+后,直接进行高温热退火的样品,以及预注入低能(BF2)^+ 相似文献
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