基于蓝宝石加热炉的温度控制系统

针对蓝宝石生长过程中稳定性差、精确控制温度困难,导致晶体出现开裂和位错等质量下降的问题,采用常规PID和模糊控制结合的控制策略,实现对移相全桥电源的精确控制。利用Matlab进行仿真,控温精度可达2 000±0.2℃。实验表明,系统控制精度高,控制速度平稳,超调小。该控制方法可以满足蓝宝石晶体生长的要求。