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扫描隧道显微镜电压脉冲法加工产生纳米结构的研究 总被引:3,自引:0,他引:3
采用扫描隧道显微镜(STM)电压脉冲法,在大气环境中进行了纳米级超微加工的实验研究,分别用钨探针和镀金钨探针,以高定向热解石墨(HOPG)和金薄膜为样品,通过在STM探针和样品之间施加一定的电压脉冲,制造出了尺度在纳米量级的结构,对形成的结构特征进行了分析,并总结了部分实验规律。 相似文献
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STM管式扫描器交叉耦合及非正交误差的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
由于扫描隧道显微镜(STM)管式扫描器自身结构的不完善,在运动过程中会产生一定的结构误差,交叉耦合误差和非正交误差是其中两项重要的误差。本文对这两项误差进行了定量的理论分析,得到了相应的误差公式及误差曲线,并通过实验验证了理论推导结果的正确性。最后,根据对误差产生原因的研究,文中还提出了一些相应的误差补偿措施。 相似文献
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利用扫描隧道显微镜制造纳米级结构 总被引:2,自引:1,他引:1
在大气环境中用STM进行纳米级超微加工,以高定向热解石墨(HOPG)和金薄膜作为样品,通过在STM探针和样品之间施加一定的脉冲电压制造出了尺度在纳米量级的结构,还对所形成的结构特征进行了分析,总结出部分规律。 相似文献
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