表面声光衍射中的伴随热效应及其对光波导模折射率的影响

在声表面波和光导波的声光衍射实验中观察到有伴随的热效应,并测得其对光波导的模折射率产生10^-4~10^-3数量级的变化.用瑞典制造的AGA750型热象仪进行分析,证实了预想的发热机构.     

CF_4反应离子束刻蚀在微细加工中的应用

随着半导体集成电路的超大规模化和集成光学领域科研工作的进展,微细图形的线条宽度已进入亚微米数量级.由于衍射的限制,传统的光刻工艺不能满足要求,同时,由于钻蚀现象,湿法化学刻蚀也不能适应微细图形的加工.人们借助于电子束曝光和离子束刻蚀,以获得高分辨率的图形.反应离子束刻蚀RIBE(Reactive Ion Beam Etchins)是一项很有潜力的微细加工技术,它具有刻蚀速率快,选择性好,分辨率高,无钻蚀和表面损伤小等优点.本文报道CF_4反应离子束刻蚀带有电子束抗蚀剂PMMA 掩模的SiO_2的一些实验结果.